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基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备制造技术
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下载基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备的技术资料
文档序号:5166914
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本发明提供容易使容器主体的分离自动化的基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备。能够载置支承容器主体(3)的载置支承部件(4)构成为具备:载置支承容器主体(3)的支承部分(27);以及装配部分(28),该装配部分以在由该支承部分(2...
该专利属于株式会社大福所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大福授权不得商用。
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