一种单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种单晶炉，该单晶炉的石墨及石英坩埚位于加热器内，保温筒位于加热器外，导流筒位于石墨及石英坩埚之上，重锤悬挂在重锤杆上且位于导流筒内，导流筒与重锤杆之间通过连接杆相连接，且导流筒与连接杆呈活络连接。采用本实用新型专利技术，因导流筒处于吊起状态，抬高了导流筒的底部与石墨及石英坩埚之间的距离，因此能增加在石墨及石英坩埚中的投料量，且相对减少了加料过程中的能量损耗。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉。
技术介绍
目前，我们通常使用的单晶炉，在石墨及石英坩埚大小设定不变的情况下，因导流 筒位于石墨及石英坩埚之上，且采用边缘悬挂在保温筒上的方式，其位置始终不动，底部与 石墨及石英坩埚较接近，因此，在石墨及石英坩埚中加入的硅料量受到限制，既影响了产 量，又因经常加料而损耗了能量。
技术实现思路
本技术的目的是提供能增加单炉投料量的一种单晶炉。本技术采取的技术方案是一种单晶炉，包括炉体、保温筒、石墨及石英坩埚、 重锤、导流筒和加热器；石墨及石英坩埚位于加热器内，保温筒位于加热器外，导流筒位于 石墨及石英坩埚之上，重锤悬挂在重锤杆上且位于导流筒内，其特征在于导流筒与重锤杆 之间通过连接杆相连接，且导流筒与连接杆呈活络连接。采用本技术，因导流筒与重锤杆之间通过连接杆相连接，导流筒处于吊起状 态，抬高了导流筒的底部与石墨及石英坩埚之间的距离，且导流筒可随着重锤升降而升降， 因此能增加在石墨及石英坩埚中的投料量，相对减少了加料过程中的能量损耗。附图说明图1是本技术的示意图。图中的序号表示重锤杆1、重锤2、活动连接杆3、炉体4、导流筒5、保温筒6、石墨 及石英坩埚7、加热器8。具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术作进一步说明。参照图1，该单晶炉包括炉体4、保温筒6、石墨及石英坩埚7、重锤2、连接杆3、导 流筒5和加热器8 ；石墨及石英坩埚7位于加热器8内，保温筒6位于加热器8外，导流筒 5位于石墨及石英坩埚7之上，重锤2悬挂在重锤杆1上且位于导流筒5内，在导流筒5与 重锤杆1之间设有连接杆3，导流筒5与重锤杆1通过连接杆3相连接，连接杆3与导流筒 5呈活络连接，即连接杆3能从导流筒5脱离。使用时，先将重锤杆1拉高，使导流筒5高高吊起，把石墨及石英坩埚7中的硅料 尽量加满加高至与导流筒5的底部接近，直到不能再加为止；在开炉后，随着石墨及石英坩 埚7中的硅料变成液态，硅料高度逐渐下降，重锤杆1、重锤2和导流筒5也下降，当导流筒 5的边缘悬挂在保温筒6上后，导流筒5会操持位置不动，重锤杆1和重锤2继续下降，此 时，连接杆3能从导流筒5中脱离，这样，就实现了增加单炉投料量的目的，同时，也可以减少在加料过程产生的能量损耗。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉，包括炉体、保温筒、石墨及石英坩埚、重锤、导流筒和加热器；石墨及石英坩埚位于加热器内，保温筒位于加热器外，导流筒位于石墨及石英坩埚之上，重锤悬挂在重锤杆上且位于导流筒内，其特征在于导流筒与重锤杆之间通过连接杆相连接，且导流筒与连接杆呈活络连接。

【技术特征摘要】
1. 一种单晶炉，包括炉体、保温筒、石墨及石英坩埚、重锤、导流筒和加热器；石墨及石 英坩埚位于加热器内，保温筒位于加热器外，导流筒位...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜洪兴，
申请(专利权)人：浙江开化同力电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]