一种用于单晶炉的原料输送装置制造方法及图纸

一种用于单晶炉的原料输送装置，用于解决单晶硅棒生产单次投料耗材多、优质品率低的问题。其技术方案是：构成中包括载料筒、导料锥、托盘和承力杆，载料筒上下贯通，其上部设有支承檐，承力杆下部固接托盘，托盘直径与载料筒外径相匹配，导料锥位于托盘上部，其下缘直径与载料筒内径相匹配。本实用新型专利技术可在单晶炉拉制单晶硅棒过程中多次打开炉门，取出优质品段产品并按比例添加原料，变一次投料为多次投料，从而减少耗材，提高产品优质品率。试验表明，采用该装置石英埚耗材降低约３倍，优质品率提高２倍以上，成品率由６５％～７０％提高至８０％～８５％。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种原料输送装置，特别是用于单晶炉生产单晶硅棒的原料循环输送装置，属半导体材料加工

技术介绍
半导体材料单晶硅是在单晶炉中拉制出来的，目前，通用的生产工序是清炉_向 石英埚中投料_关闭炉门、升温熔料_拉制单晶硅棒_冷却、开炉、取单晶硅棒。这是一套 沿用多年的成熟工艺，为一次性轮回，投一次料，拉一根单晶硅，使用一个石英埚，石英埚消 耗大、生产成本高；此外，还存在产品质量不匀的弊病，在拉制单晶硅棒过程中，先期拉制的 产品质量优于后期拉制的产品，即优质品段位于单晶硅棒的上段。优质产品含量在一根单 晶硅棒中仅为35% 40% ，成品率在65% 70% 。这种传统生产工艺耗材大、优质品率低 的弊端是显而易见的。
技术实现思路
本技术用于解决上述已有技术之缺陷而提供一种用于单晶炉的原料输送装置，利用该装置循环输料可提高产品优质品率并减少石英埚耗材。 本技术所称问题是通过以下技术方案解决的 —种用于单晶炉的原料输送装置，其特别之处是构成中包括载料筒、导料锥、托 盘和承力杆，所述载料筒上下贯通，其上部设有支承檐，所述承力杆下部固接托盘，托盘直 径与载料筒外径相匹配，所述导料锥位于托盘上部，其下缘直径与载料筒内径相匹配。 上述用于单晶炉的原料输送装置，所述载料筒上部设有限位盘，限位盘中部设有 限位孔，所述承力杆由限位孔中穿过。 上述用于单晶炉的原料输送装置，所述承力杆下部设有石英套管。 本技术针目前单晶硅棒生产单次投料耗材多、优质品率低的问题而设计了一种可实现原料循环输送的装置。采用该装置可在单晶炉拉制单晶硅棒过程中多次打开炉门，取出优质品段产品并按比例添加原料，变一次投料为多次投料，从而减少了耗材，提高了产品的优质品率。试验表明，采用该装置循环投料进行单晶硅棒的生产与传统工艺相比，石英埚耗材降低约3倍，优质品率提高2倍以上，成品率由65 % 70 %提高至80 % 85 % 。此外，本技术还具有结构简单、操作方便、易于实现等特点。附图说明图1是本技术结构示意图； 图2、3、4是本技术使用过程示意图。 附图中标号如下l.载料筒，l-l.支承檐，2.限位盘，2-1.限位孔，3.承力杆， 4.石英套管，5.导料锥，6.托盘；7.单晶炉，8.单晶硅，9.阀盖，IO.卡具，ll.石英埚。具体实施方式参看图1，本技术构成中包括载料筒1、导料锥5、托盘6和承力杆3，载料筒上下贯通，其上端部设有支承檐l-l，承力杆下部固接托盘，导料锥由承力杆中穿过，其下部由托盘支承，托盘直径与载料筒外径相匹配，导料锥下缘直径与载料筒内径相匹配。载料筒上部设有限位盘2，限位盘中部设有限位孔2-l，承力杆由限位孔中穿过，限位孔可保证承力杆上下运动时基本保持直线运动。在承力杆下部还设有石英套管4。 本技术使用过程如下参看图2，当单晶硅棒8拉制至优质段尾部时进行收尾，自然冷却后打开单晶炉7上部副室炉门，将成品单晶硅8取出。将经过洁净处理后的原料装入原料输送装置，将原料输送装置固定在单晶炉卡具上IO，如图3所示。关闭副室门，抽真空至主、副室环境平衡后打开阀盖9，下降卡具直到载料筒1的支承檐1-1与阀口接触并由阀口支承，继续下降卡具，载料筒1静止而托盘6、导料锥5下降，原料沿导料锥落入石英埚11内，待原料全部落入石英埚内后，提升卡具，原料输送装置提升至副室，原料的一次追加过程即完成。权利要求一种用于单晶炉的原料输送装置，其特征在于构成中包括载料筒(1)、导料锥(5)、托盘(6)和承力杆(3)，所述载料筒上下贯通，其上部设有支承檐(1-1)，所述承力杆下部固接托盘，托盘直径与载料筒外径相匹配，所述导料锥位于托盘上部，其下缘直径与载料筒内径相匹配。2. 根据权利要求1所述的用于单晶炉的原料输送装置，其特征在于所述载料筒上部设有限位盘(2)，限位盘中部设有限位孔(2-l)，所述承力杆由限位孔中穿过。3. 根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的原料输送装置，其特征在于所述承力杆下部设有石英套管(4)。专利摘要一种用于单晶炉的原料输送装置，用于解决单晶硅棒生产单次投料耗材多、优质品率低的问题。其技术方案是构成中包括载料筒、导料锥、托盘和承力杆，载料筒上下贯通，其上部设有支承檐，承力杆下部固接托盘，托盘直径与载料筒外径相匹配，导料锥位于托盘上部，其下缘直径与载料筒内径相匹配。本技术可在单晶炉拉制单晶硅棒过程中多次打开炉门，取出优质品段产品并按比例添加原料，变一次投料为多次投料，从而减少耗材，提高产品优质品率。试验表明，采用该装置石英埚耗材降低约3倍，优质品率提高2倍以上，成品率由65％～70％提高至80％～85％。文档编号C30B15/00GK201459275SQ20092010329公开日2010年5月12日 申请日期2009年6月16日 优先权日2009年6月16日专利技术者冯志军, 张学强, 赵保洲, 黄永恩 申请人:宁晋赛美港龙电子材料有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于单晶炉的原料输送装置，其特征在于：构成中包括载料筒（１）、导料锥（５）、托盘（６）和承力杆（３），所述载料筒上下贯通，其上部设有支承檐（１－１），所述承力杆下部固接托盘，托盘直径与载料筒外径相匹配，所述导料锥位于托盘上部，其下缘直径与载料筒内径相匹配。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张学强，冯志军，黄永恩，赵保洲，
申请(专利权)人：宁晋赛美港龙电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：13[中国|河北]