铝合金厚板及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种铝合金厚板及其制造方法，该铝合金厚板适合于半导体相关装置部件，板厚精度及平坦性良好，且能够抑制表面缺陷。将规定成分的铝合金熔解（熔解工序），除去氢气及夹杂物（脱氢工序、过滤工序），铸造成铸锭（铸造工序）。根据需要，通过热处理使该铸锭均质化（均热处理工序），热轧成规定厚度（热轧工序），进行切断（切断工序），并将表面平滑化后完成（平滑化处理工序）。另外，也可根据需要实施变形矫正（矫正工序）及退火等热处理（退火工序）。得到的铝合金厚板，其表面的平坦度为轧制方向每１ｍ长度为０．２ｍｍ以下，板厚偏差为所希望板厚的±０．５％以内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
通常，铝合金材料除了用于衬底基板、输送装置、真空装置用室等半导体相关装置 之外，正在电机电子零件及其制造装置、生活用品、机械零件等各种用途中使用。另外，作为 用于冲压用模具的模具原料，批量生产中使用钢铁、铸钢等，而作为试制用，使用锌合金铸 件材料、铝合金铸件材料等。此外，近年来，从多品种少量化的倾向来看，作为中少量生产 用，铝合金的轧制材料或者锻造材料等展伸材料正在普及。这其中，对于铝合金的轧制材料，例如如图2所示，从熔解工序S101经由退火工 序S600制造后，对变形、板厚及表面瑕疵等进行检查(例如，参照日本特开2006-281381号 公报)，之后实施利用氯乙烯制或聚乙烯制等的树脂膜覆盖轧制表背面的处理(例如，熟知 的有神户制钢技报/Vol. 52No. 2，Sep. 2002、注册商标r ^ 4 ^ (ALHIGHCE)古河天空 社(Furukawa-Sky Aluminum Corp.)制的注册商标“、4 八一卜(HIPLATE)等)(S101 S900)。之所以设为以树脂膜覆盖轧制表、背面的产品形态，是因为由于高精度铝合金厚 板大多作为精密设备等的零件使用，所以按照小尺寸、小定额经由切板批发商(cut length sheet wholesaler)进行交易。即，对于切板批发商，在精密设备零件用途中，实施为了形成 垫片(寸4 二口)大小的小尺寸的锯切断，在真空室用途中，局部实施立铣床加工，因此，非 加工部分成为装置外装材料。因此，为了防止这些切削加工时产生瑕疵，以高精度铝合金厚 板的轧制表背面用树脂膜覆盖的产品形态流通。该铝合金的轧制材料通常通过将铸锭轧制至规定厚度进行制造。但是，这样的铝 合金热轧板由于仅通过轧辊控制板厚及平坦度，难以得到良好的板厚精度及平坦性(尤其 是轧制方向的平坦度)。另外，热轧时轧制面上形成厚的氧化皮膜，因此，相同平坦度的控制 较困难。于是，还公开有在热轧后不积蓄变形的程度的压下率5%以下实施冷轧，使板厚的 精度提高的技术(例如参照专利文献1)。专利文献1 (日本)特开2006_316332号公报(段落0027 0028)但是，上述专利文献1的现有技术将铝合金材料制成板厚1mm左右的薄板。另外，所述表面瑕疵不仅影响产品的外观美观，也是损坏产品功能的重大品质缺 陷，使产品成品率下降的同时，为了除去该缺陷，还需要很多作业工时，成为妨碍生产力的 主要原因。例如，存在如下问题，使用垫片大小的小尺寸的顾客中，对购入产品进行加工并 交货后，由于在产品交货之前剥离被覆树脂模的阶段发现瑕疵，而最终失去向顾客销售机 会，或者在真空室用途中，微细瑕疵为铸造蜂窝的情况下，会成为功能缺陷，瑕疵微细时，不 能与损伤瑕疵进行区分，判断瑕疵的原因需要长时间，由此，失去向顾客的销售机会。另外，成为问题的瑕疵水平，近年来要求水平增高，深度为8 ym以上、当量圆直径 约0. 1mm左右的大小的瑕疵，目测就可以发现，因此成为问题的所在。此外，现有制造方法中，难以完全消除所述水平的瑕疵。另外，主要是在真空室用途中，几乎没有不对材料表面 进行处理而直接使用的，为了提高耐蚀性、耐候性，实施氧化铝膜处理或电镀处理。近年来， 即使原板上没有缺陷，在实施所述表面处理后，由于后述的Ti-B的熔解残余，存在轧制平 行方向上产生约3 ym长度左右的黑线状的表面缺陷的麻烦，其改善成为当务之急。根据顾 客对于这些表面缺陷的要求，优选在被覆前可靠地将该水平的表面缺陷，或者由表面处理 产生的表面缺陷排除的高精度铝合金厚板。本专利技术是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供， 其具有能够制造成真空装置用室那样的半导体相关装置等的良好的板厚精度及平坦性，同 时能够抑制瑕疵或黑线等导致的表面缺陷。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术的铝合金厚板是将铝合金热轧板的表面平滑化而 成，其表面的平坦度在轧制方向上每lrn长度为0. 2mm以下，板厚的偏差为所希望板厚的 士 0. 5%以内。这样，通过(树脂模被覆前的)表面平滑化，将表面的平坦度及板厚的偏差限定在 规定范围内，由此，在不实施冷轧等薄壁化加工的情况下，能够制成半导体相关装置等的用 于形状上要求高精度的产品的铝合金材料。此外，可抑制瑕疵及黑线等导致的表面缺陷。优选的是，所述铝合金厚板含有Mg :1. 5 12. 0质量％，还含有Si 0. 7质量％以 下、Fe :0. 8质量％以下、Cu :0. 6质量％以下、Mn :1.0质量％以下、Cr :0. 5质量％以下、Zn 0.4质量％以下、Ti :0. 1质量％以下中的一种以上，余量由A1及不可避免的杂质构成。通过以规定范围的浓度含有上述元素，能够制成除板厚精度及平坦性之外、强度 等特性也优异的Al-Mg系合金厚板。此外，能够抑制瑕疵及黑线等导致的表面缺陷，并能够 抑制表面的色斑(color irregularity)的产生。优选的是，所述铝合金厚板由铝合金构成，该铝合金含有Mn:0. 3 1.6质量％，还 含有Si :0. 7质量％以下、Fe :0. 8质量％以下、Cu :0. 5质量％以下、Mg :1. 5质量％以下、 Cr :0. 3质量％以下、Zn :0.4质量％以下、Ti :0. 1质量％以下中的一种以上，余量由A1及 不可避免的杂质构成。通过以规定范围的浓度含有上述元素，能够制成除板厚精度及平坦性之外、强度 等特性也优异的Al-Mn系合金厚板。此外，能够抑制瑕疵及黑线等导致的表面缺陷，并能够 抑制表面的色斑的产生。优选的是，所述铝合金厚板由铝合金构成，该铝合金含有Mg :0. 3 1. 5质量％、 Si 0. 2 1. 6质量％，还含有Fe 0. 8质量％以下、Cu 1.0质量％以下、Mn 0. 6质量％以 下、Cr :0. 5质量％以下、Zn :0.4质量％以下、Ti :0. 1质量％以下中的一种以上，余量由A1 及不可避免的杂质构成。通过以规定范围的浓度含有上述元素，能够制成除板厚精度及平坦性之外、强度 等特性也优异的Al-Mg-Si系合金厚板。此外，能够抑制瑕疵及黑线等导致的表面缺陷，并 能够抑制表面的色斑的产生。优选的是，所述铝合金厚板由铝合金构成，该铝合金含有Zn :3. 0 9. 0质量％、 Mg 0. 4 4. 0质量％，还含有Si 0. 7质量％以下、Fe 0. 8质量％以下、Cu 3. 0质量％以下、Mn 0. 8质量％以下、Cr 0. 5质量％以下、Ti 0. 1质量％以下、Zr 0. 25质量％以下中 的一种以上，余量由A1及不可避免的杂质构成。通过以规定范围的浓度含有上述元素，能够制成除板厚精度及平坦性之外、强度 等特性也优异的Al-Zn-Mg系合金厚板。此外，能够抑制瑕疵及黑线等导致的表面缺陷，并 能够抑制表面的色斑的产生。另外，本专利技术的铝合金厚板的制造方法，其为制造如上所述的铝合金厚板的方法， 进行下述工序将铝合金熔解成铝合金溶液的熔解工序；从所述铝合金溶液除去氢气的脱 氢工序；从除去了所述氢气的铝合金溶液除去夹杂物的过滤工序；对除去了所述夹杂物的 铝合金溶液进行铸造而制造铸锭的铸造工序；将所述铸锭热轧成规定厚度而制造热轧板的 热轧工序；将所述热轧板切本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铝合金厚板，将铝合金热轧板的表面平滑化而成，其特征在于，表面的平坦度在轧制方向上每１ｍ长度为０．２ｍｍ以下，板厚的偏差为所希望板厚的±０．５％以内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林一德，加藤友晴，稻叶隆，
申请(专利权)人：株式会社神户制钢所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]