【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光学器件的制作方法，尤其涉及一种红外光学滤光片制作过程中 的红外光学薄膜厚度控制方法。
技术介绍
红外技术的发展与广泛应用为红外光学薄膜的发展提供了广阔的前景与机遇。目前，红外光学薄膜厚度控制均采用光电极值法。该方法利用了监控波长光强随 膜层光学厚度变化而变化的性质。当膜层光学厚度增加到控制波长的四分之一时，控制波 长光强出现极值点。通过判断极值点，可以控制膜层厚度。利用光电极值法控制红外光学薄膜厚度具有以下几个缺点1、设备复杂光电极值法膜厚控制系统需要光源、光源电源、光路系统、比较片转动系统、单色 仪、探测器以及锁相放大器与显示器。特别对于长波红外光学薄膜监控来说，探测器还要配 备相应的制冷系统。2、设备昂贵光电极值法膜厚控制系统的复杂性决定其价格昂贵，特别是对于长波红外光学薄 膜膜厚控制来说，所用的元器件以及材料都是稀有、难加工的红外材料，进一步增加了设备 的价格。3、没有通用性红外覆盖了 0. Sum 40um的波长范围，分为短波、中波与长波红外。中短波红外 光学薄膜的监控系统不能用在长波红外光学薄膜监控上。4、监控误差较大在极值点附近，...
【技术保护点】
一种红外光学滤光片制作过程中的红外光学薄膜厚度控制方法，其特征在于：以一个装有石英晶振片的探头作为比较片与红外光学滤光片基片放在一起，探头与晶振膜厚控制仪相连接，晶振膜厚控制仪与蒸发源上方的挡板相连接，在蒸镀过程中，晶振膜厚控制仪测量探头中石英晶振片的振荡频率，当红外光学薄膜达到需要的厚度时，晶振膜厚控制仪发出指令，推动挡板遮挡住蒸发源，从而达到控制膜厚的目的。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周东平，赵培，
申请(专利权)人：上海欧菲尔光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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