波长选择滤光器及光照射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供波长选择滤光器及光照射装置，其能抑制膜数的大幅度的增加，并在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量。波长选择滤光器的结构如下，在透明基板上具备由第一电介质多层膜及第二电介质多层膜构成的第一层叠体、和由第三电介质多层膜及第四电介质多层膜构成的第二层叠体，第一及第三电介质多层膜是交替层叠具有第一折射率的第一折射率材料、和具有小于第一折射率的第二折射率的第二折射率材料而构成，第二及第四电介质多层膜是交替层叠具有第三折射率的第三折射率材料、和具有小于第三折射率的第四折射率的第四折射率材料而构成，第一折射率与第三折射率不同，第二折射率与第四折射率不同。

Wavelength selective filter and light irradiation device

The invention provides a wavelength selective filter and a light irradiation device, which can suppress the large increase of the number of the film, and can also reduce the wavelength deviation of the light transmission characteristic when the light is tilted to the film surface. Wavelength selective filter structure is as follows, with second stacked body forms a first laminate, composed of the first and two dielectric multilayer dielectric multilayer film and a third dielectric multilayer film and four dielectric multilayer film on the transparent substrate, the first and the third medium layer film is alternately laminated with a first refractive index of the first the rate of material, and is smaller than the first refractive index second index second index material formed second and four dielectric multilayer film is alternately laminated with third refractive third refractive index materials, and the rate of less than third with a refractive index of fourth refractive index fourth index material and form, the first refractive index of different third and second refractive index, refractive index and refractive index of fourth.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及层叠了多个膜的波长选择滤光器及光照射装置。
技术介绍
以往，树脂或粘接剂等的光固化使用了采用水银灯或金属卤化物灯的光照射装置。水银灯或金属卤化物灯所发出的光除了用于使树脂或粘接剂固化所需的波长的光之外，还发出对照射对象物造成一些损害的不需要的波长的光，因此在光照射装置中使用波长选择滤光器。作为波长选择滤光器，代表性的是使用了用金属着色的有色玻璃的波长选择滤光器，但由于来自灯的紫外线的影响而产生暴晒，透射率降低。对此，可考虑使用在透明基板上层叠了电介质多层膜的波长选择滤光器，但由电介质多层膜构成的波长选择滤光器在透射特性方面具有入射角度依赖性，光的入射角度越大，透射波长域越向短波长侧偏移。于是，已知如下技术，其通过使用由在透明基板上交替层叠了高折射率材料的层和折射率比它稍低的材料的层的电介质多层膜构成的波长选择滤光器，从而在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1日本特开2008－20563号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在上述的现有的结构中，存在若想要减小波长偏移量则膜整体的层数大幅度增多的问题。本专利技术是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种波长选择滤光器及光照射装置，其能够抑制膜数的大幅度的增加，并且在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量。用于解决问题的技术方案为了达到上述目的，本专利技术的波长选择滤光器的特征在于，在透明基板上具备由第一电介质多层膜及第二电介质多层膜构成的第一层叠体、和由第三电介质多层膜及第四电介质多层膜构成的第二层叠体，所述第一及第三电介质多层膜是交替层叠具有第一折射率的第一折射率材料、和具有小于所述第一折射率的第二折射率的第二折射率材料而构成，所述第二及第四电介质多层膜是交替层叠具有第三折射率的第三折射率材料、和具有小于所述第三折射率的第四折射率的第四折射率材料而构成，所述第一折射率与所述第三折射率不同，所述第二折射率与所述第四折射率不同。在上述结构中，所述第一层叠体和所述第二层叠体也可以分别形成在所述透明基板的不同的面上。在上述结构中，也可以将所述第一折射率与所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述第三折射率与所述第四折射率的平均值即第二平均折射率之差设为波长偏移量成为规定值以下的值。在上述结构中，也可以是，所述第一层叠体构成窄带通型滤光器，所述第二层叠体构成宽带通型滤光器。在上述结构中，也可以将所述第一折射率与所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述第三折射率与所述第四折射率的平均值即第二平均折射率之差设为0.1～0.6。在上述结构中，也可以对于波长500nm的光，透明基板的折射率为1.45～1.53，第一折射率为2.26～2.40，第二折射率为1.38～1.50，第三折射率为2.42～2.70，第四折射率为1.58～2.00。在上述结构中，也可以第一折射率材料和/或第三折射率材料与所述透明基板邻接。在上述结构中，也可以将所述第一层叠体和所述第二层叠体层叠在所述透明基板的一面或双面上，在所述第一层叠体与所述第二层叠体的邻接部，所述第一折射率材料与所述第四折射率材料相邻，或者所述第二折射率材料与所述第三折射率材料相邻。在上述结构中，也可以将所述第四折射率设为大于所述第二折射率，将所述第三折射率设为大于所述第一折射率，所述第一层叠体通过自透明基板起依次层叠第二电介质多层膜、第一电介质多层膜而构成，所述第二层叠体通过自透明基板起依次层叠第三电介质多层膜、第四电介质多层膜而构成。本专利技术的光照射装置的特征在于，在框体内收纳光源，在所述框体的光射出开口设有上述波长选择滤光器。专利技术效果根据本专利技术，能够抑制膜数的大幅度的增加，并且在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式涉及的紫外线照射装置的概略结构的立体图。图2是表示紫外线照射装置的概略结构的主视图。图3是示意地表示波长选择滤光器的图。图4是表示波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。图5是表示波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。图6是表示波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示本实施方式的波长选择滤光器的情况，(B)表示现有的波长选择滤光器的情况。图7是表示波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示在透明基板的双面上分别形成有NBP型及BBP型的层叠体的情况，(B)表示在透明基板的一个面上形成有NBP型的层叠体的情况，(C)表示在透明基板的一个面上形成有BBP型的层叠体的情况。图8是表示以与图4的例子相反的顺序形成有波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。图9是表示以与图4的例子相反的顺序形成有波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。图10是表示以与图4的例子相反的顺序形成有多层膜的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。图11是表示将高折射率材料设为一种的波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。图12是表示将高折射率材料设为一种的波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。图13是图12的继续部分。图14是表示将高折射率材料设为一种的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。图15是表示将低折射率材料设为一种的波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。图16是表示将低折射率材料设为一种的波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。图17是表示将低折射率材料设为一种的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。图18是表示将折射率差设为0.2555的波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。图19是表示将折射率差设为0.2555的波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。图20是表示将折射率差设为0.2555的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波长选择滤光器，其特征在于，在透明基板上具备由第一电介质多层膜及第二电介质多层膜构成的第一层叠体、和由第三电介质多层膜及第四电介质多层膜构成的第二层叠体，所述第一电介质多层膜及第三电介质多层膜是交替层叠具有第一折射率的第一折射率材料、和具有小于所述第一折射率的第二折射率的第二折射率材料而构成，所述第二电介质多层膜及第四电介质多层膜是交替层叠具有第三折射率的第三折射率材料、和具有小于所述第三折射率的第四折射率的第四折射率材料而构成，所述第一折射率与所述第三折射率不同，所述第二折射率与所述第四折射率不同。

【技术特征摘要】
2014.10.14 JP 2014-2097441.一种波长选择滤光器，其特征在于，
在透明基板上具备由第一电介质多层膜及第二电介质多层膜构成的第一层
叠体、和由第三电介质多层膜及第四电介质多层膜构成的第二层叠体，
所述第一电介质多层膜及第三电介质多层膜是交替层叠具有第一折射率的
第一折射率材料、和具有小于所述第一折射率的第二折射率的第二折射率材料
而构成，
所述第二电介质多层膜及第四电介质多层膜是交替层叠具有第三折射率的
第三折射率材料、和具有小于所述第三折射率的第四折射率的第四折射率材料
而构成，
所述第一折射率与所述第三折射率不同，
所述第二折射率与所述第四折射率不同。
2.根据权利要求1所述的波长选择滤光器，其特征在于，
所述第一层叠体和所述第二层叠体分别形成在所述透明基板的不同的面上。
3.根据权利要求1或2所述的波长选择滤光器，其特征在于，
将所述第一折射率与所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述
第三折射率与所述第四折射率的平均值即第二平均折射率之差设为使波长偏移
量成为规定值以下的值。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的波长选择滤光器，其特征在于，
所述第一层叠体构成窄带通型滤光器，所述第二层叠体构成宽带通型滤光
器。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的波长选择滤光器，其特征在于，
将所述第一折射率与所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述<...

【专利技术属性】
技术研发人员：米山直人，
申请(专利权)人：岩崎电气株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP