下载波长选择滤光器及光照射装置的技术资料

文档序号:14553451

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本发明提供波长选择滤光器及光照射装置,其能抑制膜数的大幅度的增加,并在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量。波长选择滤光器的结构如下,在透明基板上具备由第一电介质多层膜及第二电介质多层膜构成的第一层叠体、和由第三电介质多层膜及...
该专利属于岩崎电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过岩崎电气株式会社授权不得商用。

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