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本发明提供了一种红外光学滤光片制作过程中的红外光学薄膜厚度控制方法,该方法以一个装有石英晶振片的探头作为比较片与红外光学滤光片基片放在一起,探头与晶振膜厚控制仪相连接,晶振膜厚控制仪与蒸发源上方的挡板相连接,在蒸镀过程中,晶振膜厚控制仪测量...该专利属于上海欧菲尔光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海欧菲尔光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种红外光学滤光片制作过程中的红外光学薄膜厚度控制方法,该方法以一个装有石英晶振片的探头作为比较片与红外光学滤光片基片放在一起,探头与晶振膜厚控制仪相连接,晶振膜厚控制仪与蒸发源上方的挡板相连接,在蒸镀过程中,晶振膜厚控制仪测量...