【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,该压电/电致伸縮膜型元件具有设置有空腔的基板和,在该基板的第1主面上与该空腔的平面位置相对应而设置的将电 极膜与压电/电致伸縮膜层叠而成的振动层叠体。
技术介绍
图42的剖视图是说明压电/电致伸縮膜型元件的现有制造方法的模式图,该压电 /电致伸縮膜型元件是构成喷墨打印机的喷嘴所使用的喷墨用压电/电致伸縮执行器的主 要部件。 在现有制造方法中,首先,如图42(a)所示,在设置有作为油墨加压室的空腔926 的基板902的表面上,丝网印刷有导电材料的糊剂,将所得的涂覆膜烧成得到下部电极膜 912。其后,如图42(b)所示,重叠于下部电极膜912之上,丝网印刷压电/电致伸縮材料的 糊剂,将所得的涂覆膜烧成得到压电/电致伸縮体膜914。继此后,如图42(c)所示,重叠于 压电/电致伸縮体膜914之上,丝网印刷导电材料的糊剂,将所得的涂覆膜烧成得到上部电 极膜916。 此外,专利文献l中,公开了喷墨打印机的喷嘴所使用的喷墨用压电/电致伸縮执 行器的制造方法 专利文献1 :日本专利第3999044号公报
技术实现思路
然而,现有的制造方法存在如下问题由于基板或丝网版的尺寸的不均一或变形 引起的下部电极膜、压电/电致伸縮体膜以及上部电极膜的全体或部分的平面位置与空腔 的平面位置偏离,从而使得压电/电致伸縮执行器的油墨喷出量不均一。这一问题,不仅存 在于构成压电/电致伸縮执行器的主要部件的压电/电致伸縮型元件中,也同样存在于具 有振动层叠体的压电/电致伸縮型元件(该压电/电致伸縮型元件具有设置有空腔的基板 以及在该基板的第1 ...
【技术保护点】
一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法,所述压电/电致伸缩膜型元件具有形成有空腔的基板、在所述基板的第1主面上与所述空腔的平面位置对应而设置的由电极膜和压电/电致伸缩膜层叠而成的振动层叠体;所述方法具有下述工序:(a)在所述基板的第1主面形成第1感光膜的工序;(b)从所述基板的第2主面一侧照射光,将转录有所述空腔的平面形状的潜影描画于所述第1感光膜的工序;(c)通过显影除去在形成有所述空腔区域形成的所述第1感光膜的工序;(d)在除去所述第1感光膜的区域形成构成所述振动层叠体的最下层的膜的工序;(e)将残存于未形成所述空腔的区域的所述第1感光膜除去的工序。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2008-3-6 2008-055825一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法,所述压电/电致伸缩膜型元件具有形成有空腔的基板、在所述基板的第1主面上与所述空腔的平面位置对应而设置的由电极膜和压电/电致伸缩膜层叠而成的振动层叠体;所述方法具有下述工序(a)在所述基板的第1主面形成第1感光膜的工序;(b)从所述基板的第2主面一侧照射光,将转录有所述空腔的平面形状的潜影描画于所述第1感光膜的工序;(c)通过显影除去在形成有所述空腔区域形成的所述第1感光膜的工序;(d)在除去所述第1感光膜的区域形成构成所述振动层叠体的最下层的膜的工序;(e)将残存于未形成所述空腔的区域的所述第1感光膜除去的工序。2. 根据权利要求1所述的压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,还具有以下工序(f) 在所述工序(b)之前向所述空腔填充遮光剂的工序;并且,所述工序(b)中,对于在未形成所述空腔的区域所形成的所述第l感光膜进行选 择性的曝光;在所述工序(c)中除去所述第1感光膜的未曝光部分。3. 根据权利要求2所述的压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,其中,所述遮光剂含有 颜料。4. 根据权利要求l所述的压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,其中,在所述工序(b) 中,对于在形成所述空腔的区域所形成的所述第1感光膜进行选择性的曝光;在所述工序 (c)中除去所述第1感光膜的曝光部分。5. 根据权利要求4所述的压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,还具有以下工序(g) 在所述工序(b)之前在所述基板的第2主面的未形成有所述空腔的区域形成遮光膜。6. 根据权利要求5所述的压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,其中,所述遮光膜含有 颜料。7. 根据权利要求1所述的压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,还具有下述工序(h) 在所述工序(e)后在所述基板的第1主面上,重叠于构成所述振动层叠体的任意的 压电/电致伸縮膜之上形成第2感光膜的工序;(i) 从所述基板的第2主面一侧照射光,对于在未形成有所述任意的压电/电致伸縮膜 的区域所形成的第2感光膜进行选择性曝光的工序;(j)除去所述第2感光膜的未曝光部分的工序;(k)在除去了所述第2感光膜的区域形成构成所述振动层叠体的电极膜的工序;(1)将残存于未形成有所述任意压电/电致伸縮膜的区域的所述第2感光膜除去的工序。8. 根据权利要求1所述的压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,还具有下述工序(m)在所述工序(e)后在所述基板的第1主面上,重叠于构成所述振动层叠体的任意的电极膜之上形成第2感光膜的工序;(n)从所述基板的第2主面一侧照射光,对于在未形成有所述的任意电极膜的区域所形成的第2感光膜进行选择性曝光的工序;(O)除去所述第2感光膜的未曝光部分的工序;(P)在除去了所述第2感光膜的区域形成构成所述振动层叠体的压电/电致伸縮膜的工序;(q)将残存于未形成有所述的任意电极膜的区域的所述第2感光膜除去的工序。9. 根据权利要求1所述的压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,还具有下述工序 (r)在所述工序(e)后,通过向着构成所述振动层叠体的任意电极膜使压电/电致伸縮材料进行电泳而形成构成所述振动层叠体的压电/电致伸縮膜的工序。10. 根据权利要求1所述的压电/电致伸縮膜型元件的制造方法,还具有下述工序 (s)在所述工序(c)之后、所述工序(d)之前,在未形成有所述空腔的区域所残存的所述第1感光膜上,覆盖比所述第1感光膜的疏水性高的疏水膜的工序。11. 根据权利要求10所述的压电/电致...
【专利技术属性】
技术研发人员:清水秀树,北川睦,
申请(专利权)人:日本碍子株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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