用于检测电子器件，特别是ＩＣ’ｓ的压力检测室的闭锁机构制造技术

本发明专利技术涉及一种用于压力检测室的闭锁机构，所述压力检测室用于检测电子器件，特别是ＩＣ’ｓ，具有多个回转颚板（１１）。至少一部分回转颚板（１１）具有至少一个升降装置（１５），所述升降装置借助回转颚板（１１）引导接近两个共同作用的包围一空腔（５）的空腔件（１、２）。此外，至少一部分回转颚板（１１）具有至少一个锁定装置（２３），以便时间隔件运动到相配的回转颚板（１１）与压紧的空腔件（１）之间的中间空间（２５）内，由此在升降装置（１５）返回时也保持空腔（５）的密封性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种按权利要求1前序部分所述的用于压力检测室的闭锁机构，所述 压力检测室用于在确定的压力条件下检测电子器件，特别是IC's(包括集成电路的器件)。
技术介绍
用于测定压力的电子器件，例如MEMS(微机电系统Micro-Electro-Mechanical-S ystem)，一般在其制造之后进行压力检测，以便检查其正常功能或者在不同温度下补偿、即 校准其功能特性曲线。为此有时需要确定多个参数。压力检测在由两个能够彼此分开的空 腔件组成的压力检测室内进行。所要检测的器件这里置入空腔件的空腔内，然后将该空腔 件向另一个空腔件移动，直至其与该另一个空腔件密封地贴合。在这种状态下，器件的接触 部位与通向电子检测装置的电触点连接。随后在空腔内产生应在其中实施检测的压力。检 测结束后，使各空腔件重新彼此移动离开，从而可以将器件从空腔取出并根据检测结果进 行分拣。这里，将器件输送到空腔内和将器件从空腔取出根据目的借助机械手(Handler), 也就是以高速装载和卸载器件的自动操作装置进行。 因为检测通常在20bar或者更高的高压下进行，所以要求通过在高压下也能保证 空腔密封性的闭锁机构保持空腔件相互贴合，因为否则不能在空腔内部保持恒定的压力条 件。此外，这种闭锁机构应结构简单并适用于高的装载和卸载速度。常用的闭锁机构通常 不能满足这些要求。
技术实现思路
本专利技术的目的因此在于，提供一种用于压力检测室的闭锁机构，所述压力检测室 用于检测电子器件、特别是IC's，所述闭锁机构在高压下也能保证空腔的密封性、结构简单 并适用于高的装载和卸载速度。 该目的根据本专利技术通过具有权利要求1的特征的闭锁机构得以实现。本专利技术有利的实施方式在其他权利要求中予以说明。 根据本专利技术的闭锁机构具有以下特征-闭锁机构具有多个摆动颚板，它们可以在闭锁位置与打开位置之间摆动，-至少一部分摆动颚板具有至少一个升降装置，所述升降装置能够借助摆动颚板引导接近空腔件之一，从而能够在摆动颚板的闭锁位置上通过升降装置将该空腔件压向另一个空腔件，-至少一部分摆动颚板具有至少一个锁定装置，利用所述锁定装置能够使一间隔 件这样运动到摆动颚板与压紧的空腔件之间的中间空间内，使压紧的空腔件在升降装置移 动返回时也保持与另一个空腔件密封地接触贴合。 利用根据本专利技术的闭锁机构可以按照可靠、简单和快速的方式将两个空腔件彼此 压紧并保持其在密封地接触。可以使所述空腔件之一在装载一个或者多个器件之后首先利 用已知的装置非常迅速地与另一个空腔件直接相邻。随后将各摆动颚板摆动到其闭锁位置内。至少设置在一部分摆动颚板内的升降装置承担向另一个空腔件继续压紧该空腔件的任 务。因为该升降装置仅需经过很小的升降行程，所以可以将其构成得相当地小。这里施加 到空腔件上的压紧力可以通过设置相应多个升降装置相应地分配。以这种方式相应地压紧 环绕空腔存在两个空腔件之间的间隙区域内的密封圈。通过将间隔件插入通过升降装置产 生的、压紧的空腔件与摆动颚板之间的中间空间内，在任何情况下均这样保持空腔件的压 紧位置，即，即使在升降装置回移，也保持空腔件之间可靠的密封。以这种方式，无需在整个 检测过程期间在升降装置内保持高压力，而是可以直接在间隔件插入之后立即使其回移。 根据一种有利的实施方式，摆动颚板具有C、 L或U形的形状。以这种方式可以使 摆动颚板可摆动地支承在固定的空腔件上方并在侧向沿空腔件旁边这样引导，使摆动颚板 的自由端从后面作用在可运动的空腔件上。 根据一种有利的实施方式，各空腔件的两个相对的侧面上分布设置一个摆动颚 板，所述摆动颚板上设有多个升降装置和锁定装置。在这种情况下，两个摆动颚板适宜地在 空腔件的大部分长度或在空腔件的整个长度上延伸，其中此时升降装置和锁定装置可以交 替并排设置。升降装置和锁定装置的数量取决于空腔件的尺寸和空腔内部的检测压力，例 如可以是每个摆动颚板六至十个或者更多升降装置和锁定装置。 根据一种可选择实施方式，空腔件两个相对的侧面上分别设置至少两个摆动颚 板，其中相邻的摆动颚板交替地具有升降装置或锁定装置。但摆动颚板的数量可以在大范 围内变化，并且特别是在高压下实施检测时还可以明显更多，例如在每个侧面上包括六至 十个或更多的摆动颚板。 根据一种有利的实施方式，升降装置具有推杆，该推杆在摆动颚板的在后面作用 在要压紧的空腔件上的支承段内引导并能够在压紧方向上运动。能够以多种方式操作这种 推杆，例如通过气动、液压或者机电式操作的杠杆机构。 根据一种有利的实施方式，推杆通过杠杆机构与设置在摆动颚板内部的驱动装置 作用连接。这种驱动装置适宜地由能够气动或液压地运动的活塞组成。在这种情况下，升 降装置全部的可运动部件均设置在相配的摆动颚板的内部，从而运动的摆动颚板与固定的 周边部件之间仅需设置一个流体供应管道。 根据一种有利的实施方式，锁定装置包括小间隔板，该小间隔板能与压紧方向垂直地插入摆动颚板与空腔件之间的中间空间内。锁定装置优选设有支承在摆动杠杆内或上的驱动齿轮，它与小间隔板的齿条段共同作用。这种锁定装置可以以较简单的方式实现，需要很少的位置并可以使压紧的空腔件可靠地机械锁定在其压紧的密封位置上。 根据一种有利的实施方式，在各摆动杠杆上分别固定一个对应压力件，所述对应压力件在摆动颚板的闭锁位置中贴靠在未与升降装置接触的空腔件上，使该空腔件与由升降装置产生的压紧力相反地支承。以这种方式，由升降装置产生并由锁定装置保持的压紧力可以由对应压力件承受，从而不需要通过附加的单独的装置支承不与升降装置接触的空腔件。附图说明 下面借助附图举例对本专利技术进行详细说明。其中 图1示出具有根据本专利技术的闭锁机构的两个空腔件的部分剖开的示意图，其中，4摆动颚板处于打开位置； 图2示出图1的空腔件和闭锁机构的示意图，其中，摆动颚板处于闭合位置； 图3示出空腔件的一部分和摆动杠杆并示意示出的升降装置，其中，升降装置处 于回移的起始位置； 图4示出对应于图3的视图，其中升降装置处于移出的位置； 图5示出空腔件的一部分和摆动颚板的示意图，所述摆动颚板带有处于收回的起 始位置的锁定装置； 图6示出对应于图5的视图，其中，锁定装置处于前移的嵌接位置；以及 图7示出图6的锁定装置更详细的视图。具体实施例方式图1和2以示意性的、简化的方式示出第一空腔件1和第二空腔件2的剖视图。两 个空腔件1、2在俯视图中至少基本上为矩形。第一空腔件1的中心区域内设有凹部3，在第 一空腔件1与第二空腔件2有的足够距离时，可将一个或者多个未示出的电子器件装入该 凹部内。 第二空腔件2的中心区域内设有凹部4，该凹部与第一空腔件1的凹部3相对并在 第一空腔件1移动到第二空腔件2上时与该凹部3 —起形成一个封闭的空腔5。 空腔件1、2具有彼此靠近的面6、7，它们彼此平行并在所示的实施例中构成为平 的。在空腔件1的面6上嵌入一绕凹部3分布的、突出于面6的密封圈8。如果将第一空腔 件1压向第二空腔件2，则密封圈8弹性变形并确保密封空腔5。 第二空腔件2在凹部4的区域内具有未示出的电触点，在两个空腔件1、2移动靠 拢时，各所述触点与装入凹部3内的器件的相应触点相接触。此外，未示出的空气或气体管 道优选通过空腔件2通本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于压力检测室的闭锁机构，所述压力检测室用于在确定的压力条件下检测电子器件、特别是ＩＣ’ｓ，其中，压力检测室具有两个空腔件（１、２），能够将各所述空腔件带入一接触位置，在该接触位置所述空腔件密封地包围一空腔（５），其特征在于，－闭锁机构（１０）具有多个摆动颚板（１１），所述摆动颚板能够在闭锁位置与打开位置之间摆动，－至少一部分摆动颚板（１１）具有至少一个升降装置（１５），其能够借助摆动颚板（１１）引导接近空腔件（１、２）之一，从而能够在摆动颚板（１１）的闭锁位置中借助升降装置（１５）将该空腔件（１）压向另一个空腔件（２），－至少一部分摆动颚板（１１）具有至少一个锁定装置（２３），利用所述锁定装置一间隔件能够运动到摆动颚板（１１）与压紧的空腔件（１）之间的中间空间内，以使压紧的空腔件（１）在升降装置（１５）移动返回时也与另一个空腔件（２）保持密封的接触贴靠。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：A纳吉，M绍尔，M艾布尔，S库尔茨，
申请(专利权)人：马尔帝电子系统有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]