【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学膜检测，尤其涉及一种多层膜光学膜的检测方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、在对多层膜光学膜的检测领域中，现有技术大多依赖光谱反射率和透过率测量来评估膜层整体的光学性能。然而，由于多层膜在复杂使用环境下可能存在纳米级夹杂、层间应力集中或局部厚度梯度等因素，单纯基于宏观光谱数据的检测方式无法准确识别这些潜在缺陷。特别是在高功率光源或温度梯度较大的应用场景中，忽略局部应力分布及其伴随的偏振异常，容易导致膜层在后续使用中出现开裂、偏振失配或光学性能衰减等问题。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于解决现有技术中无法准确识别多层膜光学膜局部应力及偏振异常所导致的潜在缺陷的技术问题；
2、本专利技术第一方面提供了一种多层膜光学膜的检测方法，所述多层膜光学膜的检测方法包括：
3、通过多波段可编程激光源对多层膜光学膜样本进行多角度入射照射，获得透射光与反射光的偏振相位差信号，根据所述偏振相位差信号记录多层膜光学膜样本的偏振椭圆度参数变化，得到光学偏振
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1.一种多层膜光学膜的检测方法，其特征在于，所述多层膜光学膜的检测方法包括：
2.根据权利要求1所述的多层膜光学膜的检测方法，其特征在于，所述通过多波段可编程激光源对多层膜光学膜样本进行多角度入射照射，获得透射光与反射光的偏振相位差信号，根据所述偏振相位差信号记录多层膜光学膜样本的偏振椭圆度参数变化，得到光学偏振参数映射图包括：
3.根据权利要求1所述的多层膜光学膜的检测方法，其特征在于，所述通过共焦显微干涉装置根据所述光学偏振参数映射图，对多层膜光学膜进行形貌扫描，获得膜层界面轮廓数据，并根据所述膜层界面轮廓数据结合偏振分析组件进行局部应力分...
【技术特征摘要】
1.一种多层膜光学膜的检测方法，其特征在于，所述多层膜光学膜的检测方法包括：
2.根据权利要求1所述的多层膜光学膜的检测方法，其特征在于，所述通过多波段可编程激光源对多层膜光学膜样本进行多角度入射照射，获得透射光与反射光的偏振相位差信号，根据所述偏振相位差信号记录多层膜光学膜样本的偏振椭圆度参数变化，得到光学偏振参数映射图包括：
3.根据权利要求1所述的多层膜光学膜的检测方法，其特征在于，所述通过共焦显微干涉装置根据所述光学偏振参数映射图，对多层膜光学膜进行形貌扫描，获得膜层界面轮廓数据，并根据所述膜层界面轮廓数据结合偏振分析组件进行局部应力分析，得到应力异常区的空间坐标与应力分布图包括：
4.根据权利要求3所述的多层膜光学膜的检测方法，其特征在于，所述将所述局部膜层形貌数据与偏振分析组件提供的偏振态变化结果进行对照，对干涉条纹在局部偏振异常区域的相位漂移进行差分计算，提取存在应力集中或材料缺陷的点阵信息包括：
5.根据权利要求1所述的多层膜光学膜的检测方法，其特征在于，所述通过宽带光源根据所述空间坐标与应力分布图，在预设的测试腔室内对多层膜光学膜进行持续照射...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘太龙，张保平，杨光，纪诺，
申请(专利权)人：中科宝溢视觉科技江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：
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