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本发明提供了一种多层膜光学膜的检测方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：通过多波段可编程激光源多角度入射照射，获取透射光与反射光的偏振相位差信号并记录偏振椭圆度参数变化；随后结合共焦显微干涉与偏振分析确定应力异常区的空间坐标与应力分布图；...
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