本发明专利技术提供一种能够成膜膜质佳的有机薄膜的蒸镀装置。本发明专利技术的蒸镀装置（１）具有蒸发室（１５）和蒸镀容器（２１），蒸镀容器（２１）和蒸发室（１５）由小孔（３８）连接。由于每次向蒸发室（１５）供给必需的量的蒸镀材料（１６），因而大量的蒸镀材料（１６）不会被长时间加热。蒸镀材料（１６）在蒸发室（１５）蒸发，因而即使发生突沸，液滴也不会到达基板（６）。如果在激光的照射下使蒸镀材料（１６）蒸发，那么，蒸镀材料（１６）的化学变性少。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及有机薄膜的
，尤其涉及制造品质佳的有机薄 膜的技术。
技术介绍
有机EL元件是近年来最受注目的显示元件之一，具有高亮度且 响应速度快的优异特性。有机EL元件是在玻璃基板上配置以红、绿、 蓝三色的不同颜色来发色的发光区域。发光区域是阳极电极膜、空穴 注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层以及阴极电 极膜以此顺序层叠，利用添加在发光层中的发色剂，以红、绿、或蓝 进行发色。空穴输送层、发光层、电子输送层等一般由有机材料构成，在这 种有机材料的膜的成膜中，广泛地使用蒸镀装置。图5的符号203是现有技术的蒸镀装置，在真空槽211的内部配 置有蒸镀容器212。蒸镀容器212具有容器本体221，该容器本体221 的上部^皮形成有一个乃至多个放出口 224的盖部222堵塞。在蒸镀容器212的内部配置有粉体的有机蒸镀材料200。在蒸镀容器212的侧面和底面配置有加热器223,通过真空排气 系215对真空槽211内进行真空排气，如果加热器223发热，则蒸镀 容器212升温，蒸镀容器212内的有机蒸镀材料200被加热。如果有机蒸镀材料200纟皮加热至蒸发温度以上的温度，则在蒸镀 容器212内充满着有机材料蒸气，从^:出口 224^:出至真空槽211内。在放出口 224的上方配置有基板搬送装置214,如果使基板205 保持在保持具210上并使基板搬送装置214工作，则基板205通过》文4出口 224的正上方位置，/Ai丈出口 224放出的有机材料蒸气到达基板 205表面，形成空穴注入层或空穴输送层等的有机薄膜。如果一边使有机材料蒸气放出， 一边使基板205逐片地通iti文出 口 224之上，那么，能够在多片基板205上逐次形成有机薄膜。专利文献1:日本特开2003-96557号7>净艮
技术实现思路
但是，为了如上述般对多片基板205进行成膜，必须在蒸镀容器 212内配置大量的有机蒸镀材料200。在实际的生产现场， 一边将蒸 镀材^F加热至350。C 450。C， 一边连续120小时以上进行成膜处理， 因而蒸镀容器212内的有机蒸镀材料200长时间暴露于高温，与蒸镀 容器中的水分反应而变质，或因加热而进行分解，与加热初期的状态 相比，有机蒸镀材料200劣化。并且，如果在加热有机蒸镀材料200时发生突沸，则》丈出由有机 蒸镀材料200的溶融物构成的液滴。由于突沸是在放出口 224的正下 方产生，因而如果该液滴的一部分通过放出口 224，到达基板205， 则液滴混入所形成的薄膜，存在着膜质变差的问题。为了解决上述问题，本专利技术为蒸镀源，其具有蒸发室，其在内 部使蒸镀材料的蒸气蒸发；蒸镀容器，其具有放出上述蒸镀材料的蒸 气的放出口；孑L，其连接上述蒸镀容器的内部空间和上述蒸发室的内 部空间；供给装置，其连接至上述蒸发室，向上述蒸发室的内部供给 蒸镀材料；以及加热装置，其加热被供给至上述蒸发室的上述蒸镀材 料，并使其蒸发。本专利技术为蒸镀源，其构成为，在上述蒸发室设有透过激光的窗部， 上述加热装置通过上述窗部，向上述蒸发室内部照射上述激光。本专利技术为蒸镀源，上述供给装置具有供给室，其配置有上述蒸 镀材料；导管，其一端连接至上述供给室，另一端连接至上述蒸发室； 旋转轴，其插入并贯通于上述导管；以及旋转装置，其以中心轴线为中心而使上述旋转轴旋转，其中，在上述旋转轴的侧面形成有螺旋状 的沟。本专利技术为蒸镀源，其具有加热上述蒸镀容器的加热装置。本专利技术为蒸镀装置，其具有真空槽和蒸镀源，上述蒸镀源具有 蒸发室，其在内部使蒸镀材料的蒸气蒸发；蒸镀容器，其具有放出上 述蒸镀材料的蒸气的放出口；孔，其连接上述蒸镀容器的内部空间和 上述蒸发室的内部空间；供给装置，其连接至上述蒸发室，向上述蒸 发室的内部供给蒸镀材料；以及加热装置，其加热被供给至上述蒸发 室的上述蒸镀材料，并使其蒸发，其中，在上述蒸镀容器设有将内部 空间连接至上述真空槽的内部空间的放出口 。本专利技术为蒸镀装置，在上述真空槽内配置有搬送机构，该搬送机 构保持成膜对象物，并使其通过与上述蒸镀容器的上述;^丈出口面对的 位置。本专利技术为有机薄膜的成膜方法，其在真空槽内部使有机材料的蒸 气放出，在配置于上述真空槽内部的基板表面上成膜有机材料的薄 膜，其中，在具有蒸镀容器和蒸发室以及连接上述蒸镀容器的内部空 间和上述蒸发室的内部空间的孔的蒸镀源的上述蒸发室内部使有机 材料的蒸气产生，使上述蒸气从设在上述蒸镀容器的放出口放出至上 述真空槽内部。本专利技术为有机薄膜的成膜方法，向被供给至上述蒸发室内部的上 述有机材料照射激光，使上述蒸气产生。本专利技术如上述般构成，蒸发材料不在设有放出口的蒸镀容器内蒸 发，而是在邻接于该蒸镀容器的蒸发室内部蒸发。所以，在使蒸镀材 料蒸发时，即使发生突沸，液滴也不到达基板，在基板表面成长的薄 膜的膜质不劣化。在蒸发室和蒸镀容器由导管等细长的空间连接的情 况下，蒸发室和蒸镀容器之间的距离变长，因而液滴更难以漏出。照射激光并使蒸镀材料蒸发的方法，与电阻加热等的其它加热方 法相比，不易发生蒸镀材料的化学变性。所以，使用激光的蒸镀法尤其适用于使像有机EL材料(电荷移动材料、发光材料、电子移动材料等)那样容易因加热而发生化学变性的材料蒸发，能够制造有机EL材料的变性少且发光量高的有机EL装置。 由于激光也能够使聚合物无化学变性地蒸发，因而能够用蒸镀法来成膜以往用喷墨法、网版印刷法、旋转涂布法来成膜的聚合物薄膜。 如果将蒸镀材料的供给装置连接至蒸发室，并将规定片数的成膜所必需的量供给至必需的度，那么，即使在对多个基板进行连续成膜的情况下，大量的蒸镀材料也不会被长时间加热，因而蒸镀材料不变性。由于蒸镀材料不会长时间暴露于高温，因而蒸镀材料不分解或变 质。能够形成蒸镀材料和化学组成不变的薄膜。能够制造发光量高的 有机EL装置。附图说明图l是用于说明本专利技术的第一例的蒸镀装置的立体图。 图2是用于说明该蒸镀装置的内部的模式剖面图。 图3是用于说明本专利技术的笫二例的蒸镀装置的才莫式剖面图。 图4是用于说明本专利技术的第三例的蒸镀装置的模式剖面图。 图5是现有技术的蒸镀装置。符号说明1、 50、 70:蒸镀装置2:加热装置(激光照射装置)6:成膜对象物(基板)11:真空槽15:蒸发室21:蒸镀容器25:隔开部件730:供给装置 具体实施例方式图l的立体图、图2的概略剖面图的符号l是本专利技术的实施例， 表示第一例的蒸镀装置。该蒸镀装置1具有真空槽11及蒸镀源3(在图1中省略了真空槽11)。在真空槽11上连接有真空排气系9，如果使真空排气系9工作， 则对真空槽11的内部进行真空排气。蒸镀源3具有蒸镀容器21 、蒸发室15及供给装置30。蒸镀容器 21配置在真空槽11内部。在蒸镀容器21上排列设置有多个放出口 24，如后所述，其构成为，如果从供给装置30供给的蒸镀材料16在 蒸发室15内蒸发，则该蒸气被导入蒸镀容器21内部，蒸镀材料的蒸 气从各放出口 24放出至真空槽11的内部。在真空槽11的内部配置有基板搬送机构14。在基板搬送机构14 上安装有保持具10。如果使成膜对象物的基板保持在保持具10上， 并使其在真空槽ll内移动，则基板构成为沿与放出口 24的排列设置 方向正交的方向通本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种蒸镀源，具有： 蒸发室，其在内部使蒸镀材料的蒸气蒸发； 蒸镀容器，其具有放出所述蒸镀材料的蒸气的放出口； 孔，其连接所述蒸镀容器的内部空间和所述蒸发室的内部空间； 供给装置，其连接至所述蒸发室，向所述蒸发室的内部 供给蒸镀材料；以及 加热装置，其加热被供给至所述蒸发室的所述蒸镀材料，并使其蒸发。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：根岸敏夫，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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