本发明专利技术提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。其具备：放电灯，其具有收纳有用于放电的电极的玻璃管（２５）和连结于玻璃管（２５）的灯头部（２８）；连结线缆（７２），连结线缆（７２）的环状构件（７４Ａ）安装于放电灯的灯头部（２８），并且在环状构件（７４Ａ）中形成冷风用的送风路（７４Ａｃ），经由连结线缆（７２）的电力线缆（３３Ｄ）及环状构件（７４Ａ）从电源（３２）向灯头部（２８）供应电力，经由连结线缆（７２）的送风用配管（３５Ｄ）及环状构件（７４Ａ）从送风装置（３４）向灯头部（２８）供应冷风。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及放电灯、连接放电灯与电源之时使用的连接用线缆、具 备放电灯的光源装置以及具备该光源装置的曝光装置。
技术介绍
在用于制造各种设备(微型设备、电子设备等)的光刻工序中，为了 将形成于母版(或光^^才莫等)上的图案向涂布有抗蚀剂的晶片(或玻璃平 板等)上转印，使用步进机等一次性曝光型(静止曝光型)的投影曝光装 置以及扫描步进装置等扫描曝光型的投影曝光装置等曝光装置。在这些曝 光装置中，使用将水银灯等放电灯与聚光镜组合而成的曝光用的光源装 置，其放电灯被经由给定的安装^保持。在具有放电灯的以往光源装置当中，存在一种为了减轻发热的影响而设置有冷却机构的类型。以往的冷却机构的一个例子是下述机构，即从 放电灯的一方的灯头的外面经由灯泡部的外面向另一方的灯头的外面供 应已,皮冷却的空气的才几构(例如参照专利文献1 )。作为以往的冷却才几构的 其他的例子，还已知有下述的机构，即在放电灯的灯头上设置环状的槽 部，经由该槽部及给定的送风管向灯泡部供应冷却了的空气(例如参照专 利文献2)。专利文献l:日本特开平9 - 213129号>^才艮 专利文献2:日本特开平11 - 283898号公报以往的光源装置的放电灯的冷却才几构，因为主要向放电灯的灯泡部吹 送冷风，所以存在对灯头的冷却作用小的问题。另外，放电灯中有固定侧的灯头和自由端侧的灯头，在使用以往的冷 却机构对自由端侧的灯头冷却时，需要在灯头的周围也设置送风用的配 管，因而会有来自放电灯的光被遮挡很多的问题。
技术实现思路
本专利技术鉴于此种情况，其目的在于提供一种光源装置，其对放电灯 的灯头的冷却作用大，并且在将自由端侧的灯头冷却之时对从放电灯中 产生的光的遮光量少。另外，本专利技术的目的还在于，提供能够应用于此种光源装置中的放 电灯及连接用线缆以及使用此种光源装置的曝光技术。本专利技术的放电灯是在玻璃构件的内部收纳有用于放电的电极的放电灯，并且具备连结于该玻璃构件的灯头构件；安装于该灯头构件而 由导电性材料形成的中继构件；固定于该中继构件而能够借助该中继构 件向该灯头构件供应用于放电的电力的第一线缆；设于该中继构件而用 于向该灯头构件供应冷却用介质的流路；固定于该中继构件而能够经由 该流路向该灯头构件供应冷却用介质的第二线缆。另外，本专利技术的连接用线缆是用于将使用冷却用介质及电力的装置 与该冷却用介质的供应源及电源连结的连接用线缆，并且具备中继构 件，其由导电性材料形成，能够在使用该冷却用介质及电力的装置上拆 装；管状构件，其一端固定于该中继构件，并且由柔性材料形成，具有 该冷却用介质的流路；导电构件，其与该管状构件分开地设置， 一端固 定于该中继构件，并且由具有导电性的柔性材料形成。另外，本专利技术的光源装置是与电源和冷却用介质的供应源连接的光 源装置，并且具备放电灯，其具有收纳有用于放电的电极的玻璃构件 和与该玻璃构件连结的灯头构件；本专利技术的连接用线缆，该连接用线缆 的中继构件安装于该放电灯的灯头构件，在该中继构件中形成有该冷却 用介质的流路，经由该连接用线缆的导电构件及该中继构件从该电源向 该灯头构件供应电力，经由该连接用线缆的管状构件及该中继构件从该 供应源向该灯头构件供应该冷却用介质。另外，本专利技术的曝光装置是利用从光源装置中产生的曝光光在感光 基板上将图案曝光的曝光装置，该光源装置使用本专利技术的光源装置。根据本专利技术的放电灯，用于放电的电力经由连结构件的导电性构 件；中继构件及灯头构件向用于放电的电极供应。另外，冷却用介质经由连结构件及设于中继构件中的流路向灯头构件供应。根据本专利技术的连接用线缆，来自电源的电力经由具有柔性的导电构 件及中继构件向装置侧供应，来自供应源的冷却用介质经由具有柔性的 管状构件及中继构件向装置侧供应。根据本专利技术的光源装置及曝光装置，来自电源的电力经由连接用线 缆及灯头构件向用于放电的电极供应。另夕卜，来自供应源的冷却用介质 穿过连接用线缆的管状构件及中继构件内的流路向灯头构件供应。因 此，对该灯头构件的冷却作用大。另外，冷却用介质在灯头构件的附近 通过设于中继构件中的流路。因此，在该灯头构件处于自由端侧的情况 下，由冷却用介质供应用的配管等造成的对从放电灯中产生的光的遮光 量变少，光的利用效率高，并且光源装置的温度上升也很少。附图说明图l是表示实施方式的一例的投影曝光装置的概略构成的图。图2(A)是将表示图1中的放电灯l的一部分切开的图，图2(B) 是沿着图2 (A)的BB线的剖面图。图3 (A)是表示图2(A)的灯头部28侧的流路折曲构件71的俯 视图，图3 (B)是表示图2 (A)的灯头部28附近的构成的剖面图， 图3 (C)是图3 (B)的要部的侧视图。图4 (A)是将表示实施方式的一例的连结线缆72的一部分切开的 图，图4 (B)是表示图4 (A)中的连结机构73A的侧视图。图5是将表示在图3(B)的放电灯l上借助图4的连结线缆72连 结电源32及送风装置34的状态的一部分切开的图。图6是将表示实施方式的变形例的灯头部附近的构成的一部分切开 的图。附图标记说明1…放电灯，2…椭圓镜，25…玻璃管，25a…灯泡 部，25c…棒状部，26…灯头部，28…灯头部，28b…槽部，30…曝光光 源，31…安装构件，32…电源，33D…电力线缆，34…送风装置，35D…送风用配管，50…外罩构件，71…流路折曲构件，71c…送风路，72… 连结线缆，73A、 73B…连结机构，74A、 74B…环状构件，75A、 75B… 控制杆，76A、 76B…送风用端子。具体实施例方式下面，参照图1~图5对本专利技术的优选实施方式的一例进行说明。图1表示具备本例的曝光光源30的投影曝光装置(曝光装置)，在 该图1中，由弧放电型的水银灯构成的放电灯1经由安装装置31固定 于由绝缘物制成的固定板29。另外，分别从电源32经由具有柔性的电 力线缆33D及33B向放电灯1内的阳极侧及阴极侧的电极供应电力。 另外，经由具有柔性的送风用配管35D及35B从送风装置34穿过防尘 过滤器向放电灯l的两个灯头供应已被冷却的空气(以下称作冷风。)。 送风装置34能够使用以给定的风量供应通过取入外部气体而进行除尘 及冷却所得到的空气(或者也可以是从氮气瓶中取入的氮气等)的机构。 送风装置34除此以外，还可以使用在工厂内用于向气缸等供应压缩空 气的压缩空气供应部。该冷风也可以是室温左右，但也可以不是一定要 冷却到室温以下。另外，未图示的支架上固定有椭圆镜2 (聚光镜)，并且包围放电灯 1的灯泡部。放电灯1的灯泡部内的发光部作为一例配置于椭圆镜2的 第一焦点P1的附近。曝光光源30构成包括放电灯l、椭圆镜2、安 装构件31、电力线缆33D、 33B、送风用配管35D、 35B、电源32以及 送风装置34 (详情后述)。从放电灯1射出的光束，被椭圆镜2会聚在第二焦点P2附近后， 穿过打开状态的快门3的附近而成为发散光，射入光路折曲用的反射镜 4。快门3利用快门驱动装置3a进行开闭，作为一个例子，后述的载台 控制系统15根据统一控制装置整体的动作的主控制系统14的指令来控 制快门驱动装置3a。由反射镜4反射的光束射入干涉滤光器5，利用干涉滤光器5仅选 择给定的亮线(例如波长本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种放电灯，其在玻璃构件的内部收纳有用于放电的电极，其特征在于， 所述放电灯具备： 连结于所述玻璃构件的灯头构件； 安装于所述灯头构件而由导电性材料形成的中继构件； 固定于所述中继构件而能够经由所述中继构件向所述灯头 构件供应用于放电的电力的第一线缆； 设于所述中继构件而用于向所述灯头构件供应冷却用介质的流路； 固定于所述中继构件而能够经由所述流路向所述灯头构件供应冷却用介质的第二线缆。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：菊池孝幸，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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