本发明专利技术提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。将电源(32)及送风装置(34)侧的连接器(41)与放电灯(1)的灯头侧连接器(52)利用在电力线缆(33A)内收纳送风用配管(35A)的连结线缆(57)连结。将来自电源(32)的电力经由连结线缆(57)的电力线缆(33A)、灯头侧连接器(52)以及流路折曲构件(51)向灯头部(28)供应，将来自送风装置(28)的冷风经由连结线缆(57)的送风用配管(35A)、灯头侧连接器(52)及流路折曲构件(51)内的送风路向灯头部(28)的槽部(28b)供应。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及放电灯、连接放电灯与电源之时使用的连接用线缆、具备放电灯的光源装置以及具备该光源装置的曝光装置。
技术介绍
在用于制造各种设备(微型设备、电子设备等)的光刻工序中，为了将形成于母版 (或光掩模等)上的图案向涂布有抗蚀剂的晶片(或玻璃平板等)上转印，使用步进机等一次性曝光型(静止曝光型)的投影曝光装置以及扫描步进装置等扫描曝光型的投影曝光装置等曝光装置。在这些曝光装置中，使用将水银灯等放电灯与聚光镜组合而成的曝光用的光源装置，其放电灯被经由给定的安装机构保持。在具有放电灯的以往光源装置当中，存在一种为了减轻发热的影响而设置有冷却机构的类型。以往的冷却机构的一个例子是下述机构，即从放电灯的一方的灯头的外面经由灯泡部的外面向另一方的灯头的外面供应已被冷却的空气的机构(例如参照专利文献 1)。作为以往的冷却机构的其他的例子，还已知有下述的机构，即在放电灯的灯头上设置环状的槽部，经由该槽部及给定的送风管向灯泡部供应已被冷却的空气(例如参照专利文献2)。专利文献1 日本特开平9-2131 号公报专利文献2 日本特开平1H83898号公报以往的光源装置的放电灯的冷却机构，因为主要向放电灯的灯泡部吹送冷风，所以存在对灯头的冷却作用小的问题。另外，放电灯中具有固定侧的灯头和自由端侧的灯头，在使用以往的冷却机构对自由端侧的灯头冷却时，需要在灯头的周围也设置送风用的配管，因而会有来自放电灯的光被遮挡这样的问题。
技术实现思路
本专利技术鉴于此种情况，其目的在于提供一种光源装置，其对放电灯的灯头的冷却作用大，并且在将自由端侧的灯头冷却之时对从放电灯中产生的光的遮光量少。另外，本专利技术的目的还在于，提供能够应用于此种光源装置中的放电灯及连接用线缆以及使用此种光源装置的曝光技术。本专利技术的放电灯是在玻璃构件的内部收纳有用于放电的电极的放电灯，并且具备连结于该玻璃构件的灯头构件；设于该灯头构件而由导电性材料形成的中继构件；具有与该中继构件电连接的导电性构件的连结构件；设于该中继构件及该连结构件而用于向该灯头构件供应冷却介质的流路。另外，本专利技术的连接用线缆是用于将使用冷却介质及电力的装置与该冷却介质的供应源及电源连结的连接用线缆，并且具备管状构件，其由柔性材料形成，并且具有该冷却介质的流路；覆盖构件，其由具有导电性的柔性材料形成，并且设置成覆盖该管状构件。另外，本专利技术的光源装置是与电源和冷却介质的供应源连接的光源装置，并且具有本专利技术的放电灯；用于将该电源及该供应源与该放电灯连接的本专利技术的连接用线缆。另外，本专利技术的曝光装置是利用从光源装置中产生的曝光光在感光基板上将图案曝光的曝光装置，该光源装置使用本专利技术的光源装置。根据本专利技术的放电灯，用于放电的电力经由连结构件的导电性构件、中继构件及灯头构件向用于放电的电极供应。另外，冷却介质经由连结构件及设于中继构件中的流路向灯头构件供应。根据本专利技术的连接用线缆，来自电源的电力经由具有柔性的覆盖构件向装置侧供应，来自供应源的冷却介质穿过设于该覆盖构件内的具有柔性的管状构件的内部向装置侧供应。因此，根据本专利技术的光源装置及曝光装置，来自电源的电力经由连接用线缆的覆盖构件、放电灯的连结构件、中继构件及灯头构件向用于放电的电极供应。另外，来自供应源的冷却介质在穿过连接用线缆的管状构件后，穿过放电灯的连结构件及中继构件内的流路向灯头构件供应。因此，对该灯头构件的冷却作用大。另外，冷却介质穿过连接用线缆的电力供应用的具有柔性的覆盖构件内的具有柔性的管状构件向放电灯侧供应。因此，在该灯头构件处于自由端侧的情况下，由该连接用线缆造成的对从放电灯中产生的光的遮光量少，光的利用效率高，并且光源装置的温度上升也很少。附图说明图1是表示实施方式的一例的投影曝光装置的概略构成的图。图2(A)是将表示图1中的放电灯1的一部分切开的图，图2(B)是沿着图2(A)的 BB线的剖面图。图3(A)是表示图2(A)的灯头部观侧的流路折曲构件51及灯头侧连接器52的俯视图，图3(B)是表示图2(A)的灯头部观附近的构成的剖面图，图3(C)是图3(B)的要部的侧视图。图4是将实施方式的一例的表示连结线缆57的一部分切开的图。图5是将表示在图3⑶的放电灯1的灯头侧连接器52上借助图4的连结线缆57 连结了电源32及送风装置34的状态的一部分切开的图。图6是实施方式的变形例，是将在放电灯1的流路折曲构件51与灯头侧连接器之间连接了延长线缆57A的例子的表示要部的一部分切开的图。图7是将实施方式的变形例的表示灯头部附近的构成的一部分切开的图。附图标记说明1...放电灯，2...椭圆镜，25...玻璃管，25a...灯泡部， 25c...棒状部，26 J8...灯头部，28b...槽部，30...曝光光源，31...安装构件，32...电源，33A、3!3B...电力线缆，34...送风装置，35A...送风用配管41...电源侧连接器， 50...外罩构件，51...流路折曲构件，51c...送风路，52...灯头侧连接器，55...固定部， 57...连结线缆，57A...延长线缆，58A、58B...线缆侧连接器，62A、62B...线缆侧连结构4件。具体实施例方式下面，参照图1 图5对本专利技术的优选实施方式的一例进行说明。图1表示具备本例曝光光源30的投影曝光装置(曝光装置)，在该图1中，由弧放电型的水银灯构成的放电灯1经由安装装置31固定于由绝缘物制成的固定板四。另外，分别从电源32经由具有柔性的电力线缆33A及33B向放电灯1内的阳极侧及阴极侧的电极供应电力。另外，经由具有柔性的送风用配管35A及35B从送风装置34穿过防尘过滤器向放电灯1的两个灯头供应已被冷却的空气(以下称作冷风。)。送风装置34能够使用以给定的风量供应通过取入外部气体并进行除尘及冷却所得到的空气(或者也可以是从氮气瓶中取入的氮气等)的机构。送风装置34除此以外，还可以使用在工厂内用于向气缸等供应压缩空气的压缩空气供应部。该冷风也可以是室温左右，但也可以不是一定要冷却到室温以下。另外，未图示的支架上固定有椭圆镜2 (聚光镜)，并且包围放电灯1的灯泡部。放电灯1的灯泡部内的发光部作为一例而配置于椭圆镜2的第一焦点Pl的附近。曝光光源 30构成包括放电灯1、椭圆镜2、安装构件31、电力线缆33A、33B、送风用配管35A、35B、电源32以及送风装置34 (详情后述)。从放电灯1射出的光束，被椭圆镜2会聚在第二焦点P2附近后，穿过打开状态的快门3的附近而成为发散光，射入光路折曲用的反射镜4。快门3利用快门驱动装置3a进行开闭，作为一个例子，后述的载台控制系统15根据统一控制装置整体的动作的主控制系统14的指令来控制快门驱动装置3a。由反射镜4反射的光束射入干涉滤光器5，利用干涉滤光器5仅选择给定的亮线 (例如波长365nm的i线)的曝光光IL。这里，作为曝光光IL除了 i线以外，也可以使用 g线、h线或它们的混合光等或者水银灯以外的灯的亮线等。该被选择的曝光光IL射入复眼透镜6 (光学积分器)，在配置在复眼透镜6的射出面上的可变孔径光阑7上形成多个二次光源。穿过可变孔径光阑7的曝光光IL，经过第一中继透镜8射入母版遮帘(可变视场光阑)9。母版遮帘9的配置面实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：菊池孝幸，北野博，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：
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