提拉法晶体生长自动控制装置制造方法及图纸

技术编号:4366183 阅读:320 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种提拉法晶体生长自动控制装置,包括支撑座、籽晶杆、称重室、重量传感器、滑动接触器、冷却水套、籽晶杆定位盘;称重室位于支撑座上部,称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座,称重室外壁连接传动装置;滑动接触器固连于称重室上端,重量传感器固连于称重室的腔室上部,重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接,控制器的输出端与温控仪连接;籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接,其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。通过控制器采集的籽晶的重量信息来控制晶体生长的温控装置,从而实现对生长过程的自动化控制。可以减少人为误差,提高产品质量,降低人工成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于晶体生长
,特别是提拉法晶体生长自动控制装置
技术介绍
原有提拉法晶体生长装置中,晶体生长都是人工控制。由人眼观察晶体直径,然后 根据操作人员的经验来决定是采取升温还是降温来进行晶体生长。该技术有以下不足1、该种方法不适应大尺寸晶体的生长。晶体尺寸一旦超过观察窗的尺寸,人眼已 无法观察,这样就会造成生长失控2、对人的个体经验依赖较强,这样生长出的晶体外形重复性不 好,质量不稳定3、这种方法必须依赖人的控制,对人的经验和数量都有较高的要求,不利于生产 规模的扩大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一套适用于提拉法晶体生长自动控制装置,该装置采取上 称重原理,通过控制器采集的籽晶的重量信息来控制晶体生长的温控装置,从而实现对生 长过程的自动化控制。为了实现本专利技术目的,提拉法晶体生长自动控制装置包括支撑座、传动装置、穿过 支撑座的籽晶杆、温控仪,其特征在于还包括称重室、重量传感器、轴承座、滑动接触器、冷 却水套、籽晶杆定位盘;所述称重室位于支撑座上部,称重室底壁与支撑座之间固连有轴承 座,称重室外壁连接传动装置;所述滑动接触器固连于称重室上端,所述重量传感器固连于 称重室的腔室上部,重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接,所述控制器的输 出端与温控仪连接;籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接,其另一端穿过固 连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。所述籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器通过连接件连接。所述传动装置为与电机连接的皮带轮。采用本专利技术装置,与炉膛内的籽晶连接的籽晶杆穿过支撑座与重量传感器连接, 由重量传感器通过籽晶杆拾取晶体重量信号,然后经滑动接触器传出,最后进入控制器,由 控制软件进行运算处理后输出控制信号到温度控制仪进行升或降温控制。该装置应用于提 拉法晶体生长,对稳定产品质量和大尺寸晶体的研发都有相当大的好处,如果批量使用该 种装置,会大大减少人工操作的误差,较大幅度减少人工成本。附图说明本专利技术将通过实施例并参照附图的方式说明图1是本专利技术实施例的结构示意图。具体实施例方式如图1所示的提拉法晶体生长自动控制装置,包括支撑座7、皮带轮5、穿过支撑座 的籽晶杆8、温控仪(图中未示出)、称重室4、重量传感器2、轴承座6、滑动接触器1、冷却 水套9、籽晶杆定位盘10、连接件3 ;所述称重室位于支撑座上部,称重室底壁与支撑座之间 固连有轴承座,称重室外壁连接皮带轮;滑动接触器固连于称重室上端,重量传感器固连于 称重室的腔室上部,重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器(图中未示出)连接,所 述控制器的输出端与控制炉膛温度的温控仪连接;籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传 感器通过连接件连接,其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部 的籽晶杆定位盘。本专利技术装置的通过控制器采集的籽晶的重量信息来控制晶体生长的温度控制,称 重室在皮带轮的带动下可使籽晶杆旋转,也可随着支撑座上下移动,保持了晶体的提拉和 旋转功能,从而实现对生长过程的自动化控制。本专利技术并不局限于前述的具体实施方式。本专利技术扩展到任何在本说明书中披露的 新特征或任何新的组合。权利要求一种提拉法晶体生长自动控制装置,包括支撑座、传动装置、穿过支撑座的籽晶杆、温控仪,其特征在于还包括称重室、重量传感器、轴承座、滑动接触器、冷却水套、籽晶杆定位盘、控制器;所述称重室位于支撑座上部,称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座,称重室外壁连接传动装置;所述滑动接触器固连于称重室上端,所述重量传感器固连于称重室的腔室上部,重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接,所述控制器的输出端与温控仪连接;籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接,其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。2.如权利要求1所述的提拉法晶体生长自动控制装置,其特征在于所述籽晶杆的一 端穿过轴承座心部与重量传感器通过连接件连接。3.如权利要求1所述的提拉法晶体生长自动控制装置,其特征在于所述传动装置为 与电机连接的皮带轮。全文摘要本专利技术公开了一种提拉法晶体生长自动控制装置,包括支撑座、籽晶杆、称重室、重量传感器、滑动接触器、冷却水套、籽晶杆定位盘;称重室位于支撑座上部,称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座,称重室外壁连接传动装置;滑动接触器固连于称重室上端,重量传感器固连于称重室的腔室上部,重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接,控制器的输出端与温控仪连接;籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接,其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。通过控制器采集的籽晶的重量信息来控制晶体生长的温控装置,从而实现对生长过程的自动化控制。可以减少人为误差,提高产品质量,降低人工成本。文档编号C30B15/24GK101831692SQ20091031031公开日2010年9月15日 申请日期2009年11月24日 优先权日2009年11月24日专利技术者周世斌, 王国强, 石全洲, 肖兵 申请人:成都东骏激光股份有限公司 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提拉法晶体生长自动控制装置,包括支撑座、传动装置、穿过支撑座的籽晶杆、温控仪,其特征在于:还包括称重室、重量传感器、轴承座、滑动接触器、冷却水套、籽晶杆定位盘、控制器;所述称重室位于支撑座上部,称重室底壁与支撑座之间固连有轴承座,称重室外壁连接传动装置;所述滑动接触器固连于称重室上端,所述重量传感器固连于称重室的腔室上部,重量传感器的信号线穿过滑动接触器与控制器连接,所述控制器的输出端与温控仪连接;籽晶杆的一端穿过轴承座心部与重量传感器软连接,其另一端穿过固连在支撑座下部的冷却水套和固连于冷却水套底部的籽晶杆定位盘。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:肖兵王国强周世斌石全洲
申请(专利权)人:成都东骏激光股份有限公司
类型:发明
国别省市:90[中国|成都]

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