光罩的检测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种光罩的检测方法，该方法包括以下步骤：在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识；在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识；分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。本发明专利技术还公开了一种光罩的检测装置。本发明专利技术可准确、方便地检测不规则形状光罩的精度，这种固定点测量技术还可节省测试时间，正负效果的图形还可以同时测试，便于工艺的调整。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光罩制作工艺，尤其涉及一种在生产过程中对不规则形状光罩进行检测的方法及装置。
技术介绍
光罩是含有铬等金属薄膜的基板(Blanks)上，形成复杂Geometry (任何图形)的Mask，例如在半导体的曝光制程中，利用光罩以及曝光能够在硅基板上形成电路Patten。现在，随着LCD的大型化和高效能化，光罩也随着提高精细化和不断的大型化，对于线宽必须达到数微米的高度精确的要求。光罩制程简单来说，是在基板(Blanks)上涂上光阻材料，利用雷射电子束设备描绘出所需的各种Geometry (任何图形)，并且进行显影的制程，去除掉基板(Blanks)上不需要的光阻材料，再透过蚀刻的制程，去除掉不被光阻材料覆盖的铬膜，最后再清洗残留下来的光阻材料，最后便会依照铬膜的线路，让Geometry留在玻璃基板上。在制造完光罩后还必须进行检査、测量确认是否正确的形成了Geometry、以及其精度是否符合设计要求，传统的量测方式通常会使用干涉仪或测长仪对光罩进行精度确认。这种方案的缺点是，它们只能对规则形状的光罩进行检测。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种光罩的检测方法，该方法可准确、方便地检测不规则形状光罩的精度，这种固定点测量技术还可节省测试时间，正负效果的图形还可以同时测试，有便于工艺的调整。本专利技术进一步所要解决的技术问题是提供一种光罩的检测装置，该装置可准确、方便地检测不规则形状光罩的精度。为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案一种光罩的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识；在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识；分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。 相应地，本专利技术还公开了一种光罩的检测装置，该装置包括有分别摆放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处的用于 检测光罩总长度的十字形标识；多组用于检测光罩线条精度的线形标识；以及 多组用于检测光罩方格精度的方形标识。 本专利技术的有益效果是本专利技术的实施例通过设置多组十字形、线形和方形标识，从而实现了准确、方便地检测 不规则形状光罩的精度，这种固定点测量技术还可节省测试时间，正负效果的图形还可以同 时测试，有便于工艺的调整。下面结合附图对本专利技术作进一步的详细描述。附图说明图l是本专利技术提供的光罩的检测装置一个实施例中十字形标识的结构示意图。 图2是是本专利技术提供的光罩的检测装置一个实施例中正极性线形标识和方形标识的结构 示意图。图3是是本专利技术提供的光罩的检测装置一个实施例中负极性方形标识的结构示意图。 具体实施例方式下面详细描述本专利技术提供的光罩的检测方法的一个实施例。 本实施例实现一次光罩的检测流程包括以下步骤在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于 检测光罩总长度的十字形标识；在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识；分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字 形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。 其中，所述十字形标识的中心位于同一水平线上。具体实现时，每组线形标识或方形标识的线宽可为O. 001-0. 005mm，每组线形标识可包 括有一个O. 01-0. 05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度为所述长标长度的一半的多 个短标，每组方形标识可为由25个方块构成的阵列。参考图2、图3，本实施例中，所述线形标识和方形标识各为三组，每组的线宽规格分别 为0.001mm、 0.003mm、及O. 005mm。具体实现时，所述标识可置于距光罩边缘5-10mm处。具体实现时，线形标识3和方形标识3可根据光罩的极性分别设置正负极性，如图2所示 为正极性，而图3所示则为负极性。下面参考图l-图3详细描述本专利技术提供的光罩的检测装置的一个实施例；如题所示，本 实施例主要包括有分别摆放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处的用于 检测光罩总长度的十字形标识l;多组用于检测光罩线条精度的线形标识2;以及多组用于检测光罩方格精度的方形标识3。其中，所述十字形标识l的中心位于同一水平线上。具体实现时，每组线形标识2或方形标识3的线宽可为0. 001-0. 005mm，每组线形标识可 包括有一个O. 01-0. 05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度 以上所述是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说， 在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本专利技术 的保护范围。权利要求1.一种光罩的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识；在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识；分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。2.如权利要求l所述的光罩的检测方法，其特征在于，所述十字形标识的中心位于同一水平线上。3.如权利要求1或2所述的光罩的检测方法，其特征在于，每组线形标识或方形标识的线宽为O. 001-0. 005mm，每组线形标识包括有一个O. 01-0. 05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度为所述长标长度的一半的多个短标，每组方形标识为由25个方块构成的阵列。4.如权利要求3所述的光罩的检测方法，其特征在于，所述线形标识和方形标识各为三组，每组的线宽规格分别为O. OOlmm、 0. 003mm、及O. 005mm。5.如权利要求4所述的光罩的检测方法，其特征在于，所述标识置于距光罩边缘5-10mm处。6. 一种光罩的检测装置，其特征在于，该装置包括有分别摆放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处的用于检测光罩总长度的十字形标识；多组用于检测光罩线条精度的线形标识；以及多组用于检测光罩方格精度的方形标识。7.如权利要求6所述的光罩的检测装置，其特征在于，所述十字形标识的中心位于同一水平线上。8 如权利要求6或7所述的光罩的检测装置，其特征在于，每组线形标识或方形标识的线宽为O. 001-0. 005mm，每组线形标识包括有一个O. 01-0. 05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度为所述长标长度的一半的多个短标，每组方形标识为由25个方块构成的阵列。9 如权利要求8所述的光罩的检测装置，其特征在于，所述线形标识和方形标识各为三组，每组的线宽规格分别为O. OOlmm、 0. 003mm、及O. 005mm。10 如权利要求9所述的光罩的检测装置，其特征在于，所述标识置于距光罩边缘5-10mm处。全文摘要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：　在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识；　在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识；　 分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；　通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杜武兵，林伟，
申请(专利权)人：深圳市路维电子有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]