【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光罩生产工艺，尤其涉及一种LED显示屏光罩修补方法及装置。
技术介绍
光罩广泛应用于LCD、 PCB、 IC、 LED显示屏等各行业，其主要以大尺寸光罩为主，但近 二年，随着LED显示屏行业及LED芯片集中化的飞速的发展，对LED显示屏光罩的需求也越来 越多，而LED显示屏行业主要采用3寸、4寸、5寸等小尺寸光罩。产品设计者通过计算机辅助软件制作出电路图形后，以镭射或电子束曝光方式将该电路 图形烙印在玻璃基板的光阻上，此经过烙印后所产生出来之玻璃基板即称为光罩；具体地，光罩的制作过程如下在苏打玻璃或石英玻璃基材表面上涂覆一层铬(Cr)层形成遮光层，在铬层上面加涂覆 一层氧化铬层，最后在氧化铬层上面涂覆一层感光胶；使用软件控制曝光装置对其进行電子束曝光或雷射曝光；使用化学药液刻蚀部分铬层从而形成图案，在表面保留的铬层为图案遮光区。然而，由于在玻璃表面涂覆铬层时，环境中微小的灰尘和颗粒很容易掉落在涂覆表面或 表面感光胶而产生凹陷，直接导致铬层表面遮光层出现针孔空洞现象；另外，化学清洗以及 灰尘等因素，都可能在光罩上形成针孔空洞缺陷。针孔的产生会对光罩...
【技术保护点】
一种ＬＥＤ显示屏光罩修补方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： 在待修补光罩的下方放置一至少耐４００℃高温的垫板； 在所述垫板上放置一层导热材料； 将待修补光罩置于所述导热材料上加热后，对其进行修补。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杜武兵，林伟，
申请(专利权)人：深圳市路维电子有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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