本实用新型专利技术公开了一种手持式光罩夹，包括绝缘手柄和贯穿并从绝缘手柄一端延伸而出弯折互相形成张口状的导电夹臂ａ和导电夹臂ｂ，两导电夹臂在绝缘手柄内并串联一指定阻值的电阻，并从绝缘手柄的另一端伸出与接地端相连，其特征在于：所述电阻为阻值可调电阻，两端并联有相串接的微型电源及微型欧姆电表，并且所述任一并联接点处设有一单刀双掷开关，所述开关的公共端与阻值可调电阻相连。应用实施本实用新型专利技术手持式光罩夹后，通过将原有阻值固定的电阻替换为阻值可调电阻，并且并联加设了微型欧姆电表，实现了电阻阻值偏差的简单且随时调校，避免了光罩夹的频繁更新；有效延长了光罩夹的正常使用寿命。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种夹具，尤其涉及结构改进，属于半导体晶圆制备工具。种针对黄光制程中常用的手持式光罩夹的
技术介绍
光罩(Photo Mask)是用于将图形转移到晶圆片上的载体。为提高良品率，需要尽可能保持光罩的洁净。如果发现其上附有细小微粒时，必须使用光罩夹夹起光罩，并用洁净的干燥压縮空氮气(N2)对其吹洗清洁。在这样的吹动时，气体与光罩将摩擦产生静电，为防止静电对光罩的破坏，在光罩夹的手柄内部通常连接有接地线及时将静电泄放掉。而为了防止泄放电流过大损伤光罩，如图1所示，在绝缘手柄4的接地线6中通常会串接一个1M欧姆的电阻5限制放电。 在每次光罩使用时，作业人员均需借助手持欧姆电表对电阻5的阻值进行检查、核对。而当阻值发生偏差变化时，往往需要更换整个光罩，造成很大浪费，生产成本也居高不下。
技术实现思路
针对上述现有光罩夹的缺陷，本技术的目的旨在提供一种手持式光罩夹，提高手持式光罩夹在使用时的便利性能。 本技术的目的，是通过以下技术方案实现的 手持式光罩夹，包括手持作业用的绝缘手柄和贯穿并从绝缘手柄一端延伸而出弯折互相形成张口状的导电夹臂a和导电夹臂b，所述导电夹臂a和导电夹臂b在绝缘手柄内并串联一指定阻值的电阻，并从绝缘手柄的另一端伸出与接地端相连，其特征在于所述电阻为阻值可调电阻，两端并联有相串接的微型电源及微型欧姆电表，并且所述任一并联接点处设有一单刀双掷开关，所述开关的公共端与阻值可调电阻相连。当开关的公共端与导电夹臂相连时，构成工作回路；且当开关的公共端与微型欧姆电表或微型电源相连时，构成校验回路。进一步地，上述的手持式光罩夹，其中所述微型电源为纽扣电池；所述阻值可调电阻为旋转手柄式可调电阻，且所述手柄上车有螺纹并装载有与螺纹相匹配的固定螺母。 进一步地，上述的手持式光罩夹，其中所述阻值可调电阻的值域为1M欧姆 1. 5M欧姆。 进一步地，上述的手持式光罩夹，其中所述导电夹臂a和导电夹臂b之一与绝缘手柄之间设有带弹簧的夹臂张开按钮。本技术手持式光罩夹应用实施后，其具有的有益效果为 该光罩夹通过将原有阻值固定的电阻替换为阻值可调电阻，并且并联加设了微型欧姆电表，实现了电阻阻值偏差的简单且随时调校，避免了光罩夹的频繁更新；有效延长了光罩夹的正常使用寿命。附图说明图1是现有技术手持式光罩夹的电气结构原理图； 图2是本技术手持式光罩夹的电气结构原理图； 图3是图2所示实施例绝缘手柄内阻值可调电阻、微型电源、微型欧姆电表和单刀双掷开关的连接结构示意图； 图4是本技术手持式光罩夹的阻值可调电阻的结构示意图。具体实施方式本技术公开了一种手持式光罩夹，包括绝缘手柄和贯穿并从绝缘手柄一端延伸而出弯折互相形成张口状的导电夹臂a和导电夹臂b，两导电夹臂在绝缘手柄内并串联一指定阻值的电阻，并从绝缘手柄的另一端伸出与接地端相连，其结构改良的特征体现在其中电阻为阻值可调电阻，两端并联有相串接的微型电源及微型欧姆电表，并且所述任一并联接点处设有一单刀双掷开关，所述开关的公共端与阻值可调电阻相连。应用实施本技术手持式光罩夹后，通过将原有阻值固定的电阻替换为阻值可调电阻，并且并联加设了微型欧姆电表，实现了电阻阻值偏差的简单且随时调校，避免了光罩夹的频繁更新；有效延长了光罩夹的正常使用寿命。 为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易理解，下面特结合本专利技术一优选实施例，作详细说明如下 如图2和图3所示，是本技术手持式光罩夹的电气结构原理图及该实施例绝缘手柄内阻值可调电阻、微型电源、微型欧姆电表和单刀双掷开关的连接结构示意图。从图中可以看到，该手持式光罩夹包括便于手持作业用的绝缘手柄4和贯穿并从绝缘手柄一端延伸而出弯折互相形成张口状的导电夹臂al和导电夹臂b2，所述导电夹臂al和导电夹臂b2在绝缘手柄4内并串联一指定阻值的电阻9，并从绝缘手柄4的另一端伸出与接地端6相连，而且该组织可调电阻91的两端并联有相串接的微型电源93及微型欧姆电表92，而且所述任一并联接点处设有一单刀双掷开关94，所述开关的公共端与阻值可调电阻91相连。当开关的公共端与导电夹臂相连时，构成工作回路；且当开关的公共端与微型欧姆电表92或微型电源93相连时，构成校验回路。 进一步地，上述手持式光罩夹的微型电源93为纽扣电池；阻值可调电阻的值域为1M欧姆 1. 5M欧姆；且导电夹臂a和导电夹臂b之一与绝缘手柄之间设有带弹簧的夹臂张开按钮。 此外，如图4所示的本技术手持式光罩夹的阻值可调电阻的结构示意图。可见该阻值可调电阻91使用的是额定功率较大的旋转手柄式可调电阻，其阻值可调范围介于1M欧姆 1. 5M欧姆且手柄上车有螺纹912并装载有与螺纹912相匹配的固定螺母911。当旋转到合适位置(阻值为1M欧姆时)，将固定螺母911向下旋转即可锁紧电阻体，使得手柄不能误转动而轻易改变阻值。 本技术的手持式光罩夹不改变原来的实用功能——即当按下夹臂张开按钮3，导电夹臂al和导电夹臂b2将张开，然后罩住光罩，松开按钮3在弹簧7的作用下，光罩被两夹臂夹紧，进行空间的移动，并用洁净的干燥压縮氮气对吹洗。 该改良后的手持式光罩夹，通过一单刀双掷开关94切换工作状态，在夹臂与接地端之间介入图3所示电路。在正常使用是，开关的公共端与夹臂相连，电流通过放电电阻9与大地导通，在校正状态下，开关的公共端与微型欧姆电表92或微型电源93相连，构成校验回路，使用自带的微型欧姆电表92即可校验阻值是否异常，当阻值发生偏差可以重新调教到标准值。通过以上改良，一方面减少了校验的麻烦，不在需要使用其它测试仪器，另一方面通过调校可调电阻值，无需每次更换新品，有效延长了光罩夹的正常使用寿命。本文档来自技高网...
【技术保护点】
手持式光罩夹，包括手持作业用的绝缘手柄和贯穿并从绝缘手柄一端延伸而出弯折互相形成张口状的导电夹臂ａ和导电夹臂ｂ，所述导电夹臂ａ和导电夹臂ｂ在绝缘手柄内并串联一指定阻值的电阻，并从绝缘手柄的另一端伸出与接地端相连，其特征在于：所述电阻为阻值可调电阻，两端并联有相串接的微型电源及微型欧姆电表，并且所述任一并联接点处设有一单刀双掷开关，所述开关的公共端与阻值可调电阻相连。
【技术特征摘要】
手持式光罩夹，包括手持作业用的绝缘手柄和贯穿并从绝缘手柄一端延伸而出弯折互相形成张口状的导电夹臂a和导电夹臂b，所述导电夹臂a和导电夹臂b在绝缘手柄内并串联一指定阻值的电阻，并从绝缘手柄的另一端伸出与接地端相连，其特征在于所述电阻为阻值可调电阻，两端并联有相串接的微型电源及微型欧姆电表，并且所述任一并联接点处设有一单刀双掷开关，所述开关的公共端与阻值可调电阻相连。2. 根据权利要求1所述的手持式光罩夹，其特征在于所述开关的公共端与导电夹臂相连时，构成工作回路；所述开关的公共端与...
【专利技术属性】
技术研发人员：储著飞，程光中，刘涛，刘刚，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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