一种机械手调度方法、装置及等离子体处理设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种机械手调度方法，包括下述步骤：根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Ｃｕｒ＿Ｓｔｎ、目标位点Ｍ＿Ｓｔｎ，选择距离目标位点最近的手臂；使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。此外，本发明专利技术还公开一种机械手调度装置，以及应用上述机械手调度方法和／或装置的等离子体处理设备。本发明专利技术能够实现机械手的快速调度、快速执行传输操作，进而能够缩短整个工艺所需时间、提高机台产率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械传输和等离子
，具体而言，涉及一种机械手调度方法、装置及等离子体处理设备。
技术介绍
目前，在等离子
中，为了获得较高的投入回报，需要等离子体处理设备具 有较高的产率。现有的等离子体处理设备通常包括多个晶片盒、一个诸如机械手的传输装 置、多个腔室模块和一个晶片校准器。通常，由机械手将晶片从晶片盒中取出，并根据工艺 需要放到目标腔室模块中，以便在此进行后续操作。实际工艺中，一个诸如晶片等的待处理 工件可以访问不同腔室模块以完成不同操作，并在这些工艺完毕后，由机械手将晶片从腔 室模块中取出并放到晶片盒中，这样，一个晶片的加工/处理工艺过程即完毕。 请参阅图l，现有的一种等离子体处理设备包括6个腔室模块(即，腔室模块1至 6，并且每一个腔室模块均可以作为晶片单次传输的目标腔室模块)、一个机械手。该机械手 具有两个同轴的手臂A和B，并根据预先计算出的晶片传输路径序列在各个腔室模块之间 传输晶片，以完成工艺过程。 在实际应用中，当两个手臂A和B同时空闲时，如果要对某个腔室模块进行取片/放片的操作，通常会随机地选择手臂A或者手臂B，而后再确定所选手臂是顺时针旋转还是逆时针旋转，以便旋转最小角度而快速到达目标腔室模块，从而实现快速传片。 事实上，采用上述方法进行传片时，仍然存在着传片速度有待进一步提高的问题，例如，如果在图1所示等离子体处理设备所处状态下，要对腔室模块1进行传片操作，并且手臂A和手臂B都处于空闲状态，那么系统在随机选择手臂时可能会选择手臂A，这种情况下，因手臂A距离腔室模块1相对较远，因此其旋转到腔室模块1的角度比手臂B旋转到腔室模块1所需的旋转角度大，这样，手臂A进行上述旋转就需要经历较长的时间，从而导致整个工艺过程中机械手传片的效率较低，并最终影响整个等离子体处理设备的工作效率，进而影响机台产率。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种机械手调度方法及机械手调度装置，其 能够科学地选择手臂并实现快速传输操作。 此外，本专利技术还提供一种应用上述机械手调度方法的等离子体处理设备，以及应 用上述机械手调度装置的等离子体处理设备，其同样能够科学地选择手臂并实现快速传输 操作。为此，本专利技术提供一种机械手调度方法，其包括手臂选择步骤根据空闲手臂的 数量、手臂当前位点CUr_Stn、目标位点M—Stn，选择距离目标位点最近的手臂；手臂移动步 骤使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。 其中，所述手臂选择步骤具体包括下述步骤10)判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则转到步骤20);如果空闲手臂数等于l，则直接选择该空闲的手臂，并结束 手臂选择步骤；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息，并结束手臂选择步骤。20) 根据手臂当前位点CUr_Stn、目标位点M_Stn和位点总数N，确定哪一个手臂离目标位点最 近，并选定该手臂。 其中，所述步骤20)具体包括计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M—Stn的差 值，并将该差值的绝对值赋值给变量a， S卩，a = I Cur_Stn-M_Stn | ;计算手臂当前位点Cur_ Stn与目标位点M—Stn的差值，将该差值与N/2求和后的绝对值赋值给变量b，即，b = | Cur_ Stn+N/2_M_Stn | ;判断是否a > N/2，如果是，则将a重新赋值为a = N_a，如果否，则保持a 值不变；判断是否b > N/2，如果是，则将b重新赋值为b = N-b，如果否，则保持b值不变； 比较a和b，如果a < b，则确定第一手臂离目标位点最近，并选择该手臂，如果a > b，则确 定第二手臂离目标位点最近，并选择该手臂。 其中，当位点总数N等于6时，所述步骤20)具体包括这样的步骤判断是否|Cur_ Stn-M_Stn| <= l，或者| Cur_Stn_M_Stn | = 5 ;如果是，则确定选择第一手臂；如果否，则 确定选择第二手臂。 其中，在所述手臂移动步骤中还包括确定手臂旋转方向的步骤即，根据目标位点 M_Stn和所选手臂的当前位点Cur—Stn，确定所选手臂的旋转方向，以使该手臂旋转最小角 度而到达目标位点。 本专利技术还提供一种机械手调度装置，其包括手臂选择单元和手臂移动单元。其中， 所述手臂选择单元用于根据空闲手臂的数量、手臂当前位点CUr_Stn、目标位点M—Stn，选 择距离目标位点最近的手臂；所述手臂移动单元用于使所选择的手臂旋转至目标位点，以 便由该手臂在目标位点处执行传输操作。 其中，所述手臂选择单元具体包括空闲手臂判断模块，其用于判断空闲的手臂数 量，如果空闲手臂数等于2，则启动手臂选定模块，如果空闲手臂数等于1，则直接选择该空 闲的手臂；如果无空闲手臂，则返回表示无空闲手臂的信息；手臂选定模块，其用于根据手 臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn和位点总数N，确定哪一个手臂离目标位点最近，并选 定该手臂。 其中，所述手臂选定模块具体包括计算子模块和比较子模块。所述计算子模块用 于计算手臂当前位点CUr_Stn与目标位点M_Stn的差值，并将该差值的绝对值赋值给变量 a，即，a = I Cur_Stn-M_Stn | ;并且还用于计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的 差值，将该差值与N/2求和后的绝对值赋值给变量b，即，b = I Cur_Stn+N/2-M_Stn | 。所述 比较子模块，其执行下述判断内容1)判断是否a > N/2，如果是，则将a重新赋值为a = N-a ;如果否，则保持a值不变；11)判断是否b > N/2，如果是，则将b重新赋值为b = N_b ; 如果否，则保持b值不变；III)比较a和b，如果a < b，则确定第一手臂离目标位点最近， 并选择该手臂；如果a > b，则确定第二手臂离目标位点最近，并选择该手臂。 其中，当位点总数N等于6时，所述手臂选定模块具体包括计算子模块和比较子 模块。计算子模块用于计算手臂当前位点CUr_Stn与目标位点M_Stn的差值；比较子模块 用于判断是否I Cur_Stn-M_Stn I <= l，或者| Cur_Stn_M_Stn | = 5 ;如果判断结果之一为 是，则确定选择第一手臂；否则，确定选择第二手臂。其中，所述手臂移动单元根据目标位点M_Stn和选定手臂当前位点Cur—Stn，确定所选择的手臂的旋转方向，以使该手臂旋转最小角度而到达目标位点。 其中，所述目标位点对应于目标腔室模块，所述位点总数对应于腔室模块总数。 此外，本专利技术还提供了一种等离子体处理设备，其采用本专利技术提供的上述机械手 调度方法，以便根据需要选择离目标腔室最近的手臂执行传输操作。 再有，本专利技术还提供了一种等离子体处理设备，其采用本专利技术提供的上述机械手 调度装置，以便根据需要选择离目标腔室最近的手臂执行传输操作。 本专利技术具有下述有益效果 本专利技术提供的机械手调度方法及机械手调度装置能够根据空闲手臂数量、手臂当 前位点和目标位点等信息来选择距离目标位点最近的手臂，以便使手臂移动最短的距离而 快速地到达目标位点，从而实现机械手的快速调度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机械手调度方法，其特征在于，包括下述步骤：手臂选择步骤：根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Ｃｕｒ＿Ｓｔｎ、目标位点Ｍ＿Ｓｔｎ，选择距离目标位点最近的手臂；手臂移动步骤：使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。

【技术特征摘要】
一种机械手调度方法，其特征在于，包括下述步骤手臂选择步骤根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；手臂移动步骤使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。2. 根据权利要求1所述的机械手调度方法，其特征在于，所述手臂选择步骤具体包括下述步骤10)判断空闲的手臂数量，如果空闲手臂数等于2，则转到步骤20);如果空闲手臂数等 于l，则直接选择该空闲的手臂，并结束手臂选择步骤；如果无空闲手臂，则返回表示无空 闲手臂的信息，并结束手臂选择步骤；20)根据手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M—Stn和位点总数N，确定哪一个手臂离目标 位点最近，并选定该手臂。3. 根据权利要求2所述的机械手调度方法，其特征在于，所述步骤20)具体包括 计算手臂当前位点CUr_Stn与目标位点M_Stn的差值，并将该差值的绝对值赋值给变量a，艮卩，a = ICur_Stn_M_Stn| ;计算手臂当前位点Cur_Stn与目标位点M_Stn的差值，将该差值与N/2求和后的绝对值赋值给变量b， S卩，b = I Cur_Stn+N/2-M_Stn | ;判断是否a > N/2，如果是，则将a重新赋值为a = N_a ;如果否，则保持a值不变； 判断是否b > N/2，如果是，则将b重新赋值为b = N-b ;如果否，则保持b值不变； 比较a和b，如果a < b，则确定第一手臂离目标位点最近，并选择该手臂；如果a > b，则确定第二手臂离目标位点最近，并选择该手臂。4. 根据权利要求2所述的机械手调度方法，其特征在于，当位点总数N等于6时，所述 步骤20)具体包括下述步骤判断是否I Cur_Stn-M_Stn I <= l，或者| Cur_Stn_M_Stn | = 5 ;如果满足上述条件之 一，则确定选择第一手臂；如果上述两个条件都不满足，则确定选择第二手臂。5. 根据权利要求1所述的机械手调度方法，其特征在于，在所述手臂移动步骤中还包 括确定手臂旋转方向的步骤即，根据目标位点M_Stn和所选手臂的当前位点Cur—Stn，确 定所选手臂的旋转方向，以使该手臂旋转最小角度而到达目标位点。6. 根据权利要求2所述的机械手调度方法，其特征在于，所述目标位点对应于目标腔 室模块，所述位点总数对应于腔室模块总数。7. —种机械手调度装置，其特征在于，包括手臂选择单元和手臂移动单元，其中 所述手臂选择单元用于根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur—Stn、目标位点M—Stn，选择距离目标位点最近的手臂；所述手臂移动单元用于使所选择的手臂旋转至目标位点...

【专利技术属性】
技术研发人员：马宝林，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]