【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片分拣设备
,特别涉及芯片分拣设备的移送装置。
技术介绍
LED芯片分检设备用于对芯片进行分类排列。工作过程中,系统首先导入待分选芯 片的光电参数以及位置信息,待分拣的LED芯片均匀粘贴在翻晶膜上,翻晶膜紧绷固定在 环形托盘上。 托盘安装于供给圆筒形平台上,可随平台X、 Y相平行移动并绕自身轴线45°旋 转。平台上部的CCD系统和下方子母运动平台协同完成每颗芯片的识别及定位。芯片移送 系统按等级对每个芯片进行抓取,并放置到接收平台。 LED芯片的自动分拣系统主要包括3大部分供料装置;移送装置;排列装置。要 求相应机械机构、运动控制系统必须稳定、快速、精准。供料装置包括分检平台、供给X轴系 统、供给Y轴系统、供给e轴系统、顶针(Z轴)系统、CCD扫描系统。移送装置包括移送 Z轴系统、移送9轴系统、移送摆臂系统。排列装置包括排列X轴系统、排列Y轴系统、排 列区CCD扫描系统。供给装置通过平行移动和旋转校正将晶粒定位到分拣位置,由顶针系 统配合将晶粒由薄膜上顶起。移送装置通过吸嘴吸取晶粒,并旋转90。将晶粒放置到排列 区。排列装置通过平行移动, ...
【技术保护点】
芯片分拣设备的移送装置,包括机架,以及可升降地枢设于机架的主轴,所述主轴下端固接有摆臂,所述摆臂前端设置有吸嘴,其特征在于:所述主轴通过一滚珠花键副与主轴伺服电机的输出轴连接,所述滚珠花键副枢接于机架,所述机架设置有平行于所述主轴的直线引动器,所述直线引动器的引动臂枢接于所述主轴外缘。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:黄禹,李斌,吴涛,李海洲,郑振华,龚时华,谭波,
申请(专利权)人:东莞华中科技大学制造工程研究院,东莞市华科制造工程研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:44[中国|广东]
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