一种在线处理设备制造技术

本发明专利技术公开一种在线处理设备，包括冷却腔（２１）和载台（２５），所述冷却腔与所述载台之间设置有第一载板传输装置（２２）和第二载板传输装置（２３），所述载台可选择地与所述第一载板传输装置的第一端或者第二载板传输装置的第一端配合，所述冷却腔内部设置有第三载板传输装置（２０），所述第三载板传输装置可选择地与所述第一载板传输装置的第二端或者所述第二载板传输装置的第二端配合。载板（２４）只需在冷却腔中即可实现返回，并在载台上实现装载和卸载，无需为设备另外安装卸载台，从而减小了该在线处理设备的占地面积，降低设备运行空间的清洁作业成本，进而能够降低设备的使用成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子
，特别涉及一种在线处理设备。
技术介绍
随着我国经济建设的发展，在线式等离子体处理设备等在线处理设备越来越广泛 地应用于微电子
请参考图1，图1为一种在线式等离子体处理设备的结构示意图。在线式等离子体处理设备一般具有依次相邻的装载台11、预热腔室12、工艺腔室 13、冷却腔室14，以上各相邻腔室之间、腔室与大气之间分别设置有翻板阀15，载板16在载 板传送机构17的带动下依次经过上述各腔室。在基片的加工过程中，首先将载板16装载 于载板传送机构17，预热腔室12与装载台11之间的翻板阀15打开，载板16进入预热腔室 12后该翻板阀15关闭，并将预热腔室12抽成真空后将被加工基片放置于载板16表面，打 开预热腔室12与工艺腔室13之间的翻板阀15，载板16和载板16上的基片随载板传送机 构17进入工艺腔室13，加工完成后，打开工艺腔室13与冷却卸载腔14之间的翻板阀15， 基片、载板16随载板传送机构17进入冷却卸载腔后，将加工完成的基片自载板16上移除， 载板传送机构17将载板16传输至卸载台18进行卸载，卸载后的载板16通过返回机构19 重新本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在线处理设备，包括冷却腔（２１）和载台（２５），所述冷却腔（２１）与所述载台（２５）之间设置有第一载板传输装置（２２）和第二载板传输装置（２３），所述载台（２５）可选择地与所述第一载板传输装置（２２）的第一端或者第二载板传输装置（２３）的第一端配合，其特征在于，所述冷却腔（２１）内部设置有第三载板传输装置（２０），所述第三载板传输装置（２０）可选择地与所述第一载板传输装置（２２）的第二端或者所述第二载板传输装置（２３）的第二端配合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：南建辉，宋巧丽，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]