【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构。
技术介绍
由于投影光刻物镜是由多个镜片组成，它的像质已接近衍射极限，因而镜片细微 的偏心变化都会对像质产生不良影响，这使现场像质微量可调功能显得十分必要。目前，现 有的微调机构均不能保证物镜在位置调整过程中对镜片造成的应力变形要求，及水平方向 上的扭摆要求。
技术实现思路
本专利技术的技术解决问题是为了克服因镜片细微的偏心变化对像质产生的不良影 响，提供一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，使得物镜在位置调整过程中，不会因外 力的作用而产生应力变形及水平方向上的扭摆，使得现场像质微量调整成为可能，保证了 镜片中心偏公差的要求，提高了各透镜对轴心的装调精度，克服了因镜片偏心对像质产生 不良影响，保证像质和焦面稳定，保证了光刻质量。 本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框上，镜片框位于镜筒内，并与镜筒之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头、滑块、导向柱、导向柱底座、弹性垫；调微头安装在镜筒中并与物镜光轴向垂直，弹性垫安装在镜片框的侧面，导向柱底座与镜片框的接触面为弹性垫；滑块镶嵌在导向柱底座上的导向柱中。 本专利技术与现有技术相比的优点在于本专利技术在投影光刻物镜的镜片框及镜筒上按放镜片偏心微调机构，调微头安装在镜筒中，当旋转调微头使其向前位移运动时，调微头的前端推动滑块沿弹性导向柱运行推动镜片框，使镜片相对物镜光轴向产生一定的偏心位移。由于调微头推动的滑快是沿其导向柱指引的方向运动，因此，防止了镜...
【技术保护点】
一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，其特征在于：所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框（６）及镜筒（８）上，镜片框（６）位于镜筒（８）内，并与镜筒（８）之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头（１）、滑块（２）、导向柱（３）、导向柱底座（４）、弹性垫（５）；调微头（１）安装在镜筒（８）中并与物镜光轴向垂直，弹性垫（５）安装在镜片框（６）的侧面，导向柱底座（４）与镜片框（６）的接触面为弹性垫（５）；滑块（２）镶嵌在导向柱底座（４）上的导向柱（３）中。
【技术特征摘要】
一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，其特征在于所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框(6)及镜筒(8)上，镜片框(6)位于镜筒(8)内，并与镜筒(8)之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头(1)、滑块(2)、导向柱(3)、导向柱底座(4)、弹性垫(5)；调微头(1)安装在镜筒(8)中并与物镜光轴向垂直，弹性垫(5)安装在镜片框(6)的侧面，导向柱底座(4)与镜片框(6)的接触面为弹性垫(5)；滑块(...
【专利技术属性】
技术研发人员：王建，胡松，赵立新，邢薇，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]
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