【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构。
技术介绍
由于投影光刻物镜是由多个镜片组成，又它的像质已接近衍射极限，因而镜片的细微倾斜度的变化都会对像质产生不良影响，这使现场像质微量可调功能显得十分必要。物镜具备微调功能后，可以保证其长期稳定工作。目前，国内市场上光刻机的投影物镜均无镜片倾斜微调机构，无法解决镜片倾斜带来的像质改变。
技术实现思路
本专利技术的技术解决问题是为了克服因细微的镜片倾斜变化对像质产生的不良影响，提供一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，使得现场像质微量调整成为可能，提高各透镜对光轴的装调精度，保证了投影光刻物镜长期稳定可靠的工作，提供高质量的像质。 本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，所述的镜片倾斜微调机构安装在镜片框上，它包括调节螺栓座、调节螺栓、传动弹簧、传动杠杆、镜片保护夹；调节螺栓被固定在位于镜片框上端的调节螺栓座上，调节螺栓的前端为锥型，传动弹簧的上端套在调节螺栓的前锥端，传动弹簧的下端挂在传动杠杆上，传动杠杆的后端被固定在镜片框上，传动杠杆的前端顶在位于镜片边缘的镜片保护夹的下方。 本专利技术的有益效果是，当投影光刻物镜因环境及内部元件细微的变化对像质产生不良影响时，本专利技术通过调整镜片框上的调节螺栓，使螺栓带动传动弹簧做伸长和縮短运动，同时弹簧又使顶在镜片边缘下方传动杠杆做上下运动，从而使镜片倾斜，提高了各透镜对光轴的倾斜装调精度，保证了投影光刻物镜长期稳定可靠的工作，提高了成像质量；并且本专利技术具有机构简单、安装调整方便、经济、安全、可靠等优点。附图说明 ...
【技术保护点】
一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，其特征在于：所述的镜片倾斜微调机构安装在镜片框（７）上，它包括调节螺栓座（１）、调节螺栓（２）、传动弹簧（３）、传动杠杆（４）、镜片保护夹（５）；调节螺栓（２）被固定在位于镜片框（７）上端的调节螺栓座（１）上，调节螺栓（２）的前端为锥型，传动弹簧（３）的上端套在调节螺栓（２）的前锥端，传动弹簧（３）的下端挂在传动杠杆（４）上，传动杠杆（４）的后端被固定在镜片框（７）上，传动杠杆（４）的前端顶在位于镜片（６）边缘的镜片保护夹（５）的下方。
【技术特征摘要】
一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，其特征在于所述的镜片倾斜微调机构安装在镜片框(7)上，它包括调节螺栓座(1)、调节螺栓(2)、传动弹簧(3)、传动杠杆(4)、镜片保护夹(5)；调节螺栓(2)被固定在位于镜片框(7)上端的调节螺栓座(1)上，调节螺栓(2)的前端为锥型，传动弹簧(3)的上端套在调节螺栓(2)的前锥端，传动弹簧(3)的下端挂在传动杠杆(4)上，传动杠杆(4)的后端被固定在镜片框(7)上，传动杠杆(4)的前端顶在位于镜片(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵立新，胡松，王建，邢薇，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]
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