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一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，所述的镜片倾斜微调机构安装在镜片框中，它包括调节螺栓座、调节螺栓、传动弹簧、传动杠杆、镜片保护夹；调节螺栓被固定在位于镜片框上端的调节螺栓座上，调节螺栓的前端为锥型，传动弹簧的上端套在调节螺栓的前锥端，...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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