【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种利用多光束干涉光刻技术制备仿生彩色超疏水涂层的方法,其步骤如下:(1)搭建激光多光束干涉系统光源选择为纳秒脉冲激光器或连续激光器,产生用于紫外波段的激光加工的光束;从激光器发出的激光首先经过石英透镜扩束后,由半透半反的反射镜分成多束强度一样的相干激光,再由镀膜的反射镜将其会聚后实现干涉;(2)干涉材料的制备在清洁干净的基底上旋涂可固化聚合物材料或者可降解聚合物材料,通过控制匀胶机的转速或材料的浓度,控制材料的厚度;(3)干涉光刻使可固化聚合物材料固化、或使可降解聚合物材料降解,显影后获得微结构阵列控制激光干涉光束的曝光时间、控制干涉光与基片所在平面法线的夹角,从而在基底上得到可固化聚合物材料或可降解聚合物材料的微结构阵列,其固化线宽为100nm~20μm、占空比为0.2~1、周期为355nm~20μm;(4)在微结构阵列上进行低表面能材料的修饰采用热蒸发的方式,将低表面能的材料蒸发成气体,然后吸附在前面步骤制备的微结构阵列表面,降低其表面能,进而在基底上得到利用多光束干涉光刻技术制备的仿生彩色超疏水涂层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:孙洪波,吴东,陈岐岱,
申请(专利权)人:吉林大学,
类型:发明
国别省市:82[中国|长春]
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