处理液槽的闸门装置制造方法及图纸

一种处理液槽的闸门装置，能长期维持较高的密封性，简化驱动机构，并能防止处理液引起的驱动机构的功能下降。本发明专利技术的处理液槽的闸门装置包括：开闭板状工件能经过的工件经过口（８８）的可动闸门部件（９３）；以及使可动闸门部件（９３）移动、使其位置能在关闭工件经过口（８８）的关闭位置与打开工件经过口（８８）的打开位置之间变更的驱动机构（９４）。驱动机构（９４）包括：与可动闸门部件（９３）一体移动的滑动部（９３ａ）；以及配置在该滑动部（９３ａ）的移动方向的两侧并能膨胀收缩的一对管部件（１０１、１０２）。通过在使一个管部件（１０１）膨胀的同时使另一个管部件（１０２）收缩，使可动闸门部件（９３）朝着打开位置移动，通过在使一个管部件（１０１）收缩的同时使另一个管部件（１０２）膨胀，使可动闸门部件（９３）朝着关闭位置移动。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种处理液槽的闸门装置，具有板状工件能经过的狭缝状的工件经过口，其特征在于，包括：　　可动闸门部件，该可动闸门部件的位置能在关闭所述工件经过口的关闭位置与打开所述工件经过口的打开位置之间变更；以及　　驱动机构，该驱动机构使所述可动闸门部件在关闭位置与打开位置之间移动，　　所述驱动机构包括：与所述可动闸门部件一体移动的滑动部、以及配置在该滑动部的移动方向的两侧并能膨胀收缩的一对管部件，通过在使一个管部件膨胀的同时使另一个管部件收缩，使可动闸门部件与所述滑动部一起朝着打开位置移动，通过在使一个管部件收缩的同时使另一个管部件膨胀，使可动闸门部件与所述滑动部一起朝着关闭位置移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：植村哲朗，三好和也，奈良田忠昭，
申请(专利权)人：上村工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]