利用倾斜驱动的闸门阀制造技术

本发明专利技术涉及一种利用倾斜驱动的闸门阀，本发明专利技术的利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括：闸门，沿着与上述开口部的表面平行的第一轴或与上述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与上述腔室的外壁接触或解除接触来开闭上述开口部；驱动部，供给上述第一轴方向的移动力；楔部，安装在上述闸门，外表面形成有斜面；及方向转换部，与上述驱动部连接，为了将从上述驱动部提供的第一轴方向的移动力转换成第二轴方向的移动力并供给到上述闸门，上述方向转换部的外表面形成有斜面，使得能够从上述楔部滑移。根据本发明专利技术，提供一种可通过"L"字型驱动实现坚固密封的利用倾斜驱动的闸门阀。

【技术实现步骤摘要】
利用倾斜驱动的闸门阀
本专利技术涉及一种利用倾斜驱动的闸门阀，更详细地涉及一种能够完全封闭腔室内部空间的利用倾斜驱动的闸门阀。
技术介绍
一般来说，腔室是为了在真空或高洁净环境下制造半导体芯片、晶圆或液晶屏等高技术设备或医疗器械而使用的工业设备设施，在腔室内附着的闸门阀起到腔室的出入口作用，将阀门瞬间打开将半导体芯片等移动到腔室内，再将阀门关上以维持腔室内的气密状态的装置。这种以往的闸门阀的基本结构如下:在壳体内部安装有用于开闭设置在壳体两侧出入口的阀体，上述阀体通过驱动汽缸的驱动进行升降移动并将壳体的出入口选择性地开闭而维持对一侧腔室的气密。如上所述，随着在腔室内完成的生产作业，阀体在壳体内无数次垂直升降移动而开闭出入口，而在此时，由于不能维持阀体和壳体间的气密状态，因此存在无法维持腔室的真空状态的问题。为了解决如上问题，曾研究出利用连杆机构开闭腔室的闸门阀，但是闸门无法垂直接触于腔室而产生大量的粉尘，且由此而导致从腔室内泄露的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而提出的，其目的是提供一种利用倾斜驱动的闸门阀，该闸门阀通过倾斜驱动方式实现L字型驱动，从而能够实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括：闸门，沿着与所述开口部的表面平行的第一轴或与所述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与所述腔室的外壁接触或解除接触来开闭所述开口部；驱动部，供给所述第一轴方向的移动力；楔部，安装在所述闸门，外表面形成有斜面；及方向转换部，与所述驱动部连接，为了将从所述驱动部提供的第一轴方向的移动力转换成第二轴方向的移动力并供给到所述闸门，所述方向转换部的外表面形成有斜面，使得能够从所述楔部滑移。

【技术特征摘要】
2012.07.23 KR 10-2012-00800821.一种利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括: 闸门，沿着与所述开口部的表面平行的第一轴或与所述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与所述腔室的外壁接触或解除接触来开闭所述开口部； 驱动部，供给所述第一轴方向的移动力； 楔部，安装在所述闸门，外表面形成有斜面；及 方向转换部，与所述驱动部连接，为了将从所述驱动部提供的第一轴方向的移动力转换成第二轴方向的移动力并供给到所述闸门，所述方向转换部的外表面形成有斜面，使得能够从所述楔部滑移。2.根据权利要求1所述的利用倾斜驱动的闸门阀，其特征在于， 所述闸门从与所述开口部相对的固定位置，在第一轴上的移动固...

【专利技术属性】
技术研发人员：琴禹洛，金锡，康舜捧，
申请(专利权)人：SNU精度株式会社，
类型：发明
国别省市：