弹性波滤波器制造技术

本发明专利技术提供一种弹性波滤波器，其在通频带的高频带侧或低频带侧得到陡峭的衰减，选择性高。在弹性波的传输方向看时，构成输入侧锥型ＩＤＴ电极和输出侧锥型ＩＤＴ电极的各电极指群的各电极指的宽度尺寸相互相同，并且相邻的电极指之间的间隔尺寸形成为与上述电极指的宽度尺寸相同的大小，在上述弹性波的传输方向看时，上述格栅反射器的电极指群与构成该电极指群的各电极指的宽度尺寸相同，并且相邻的电极指之间的间隔尺寸形成为与上述宽度尺寸相同的大小，上述电极指的宽度尺寸和电极指之间的间隔尺寸设定为上述输入侧锥型ＩＤＴ电极和输出侧锥型ＩＤＴ电极的电极指的宽度尺寸和电极指之间的间隔尺寸的最小值以上或最大值以下，这样构成弹性波滤波器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及弹性波滤波器，例如SAW (Surface Acoustic Wave:声表面波)滤波器。
技术介绍
SAW器件是利用弹性表面波的器件，在压电基板上配置称为IDT(inter digital transducer :叉指式换能器)的电极指，进行电信号与弹性波之间的电_机械相互变换，具 有频率选择(带通滤波器)特性。SAW器件之一的SAW滤波器作为高功能化、小型化的各种 通信设备例如移动电话机等的带通滤波器使用，伴随着近年来的无线数据通信的高速化和 大容量化，要求具有插入损失(输出电力相对于输入电力的衰减量)小、且频率选择性出色 的滤波器特性，而且要求宽频带、平坦、小型。为了满足这样的要求，例如锥型(taper) IDT 滤波器是有利的。 图18表示作为一般的结构的锥型IDT滤波器的滤波器100。滤波器100具备在 压电基板101上形成的作为锥型的电极的输入侧锥型IDT电极102和输出侧锥型IDT电极 103，从输入侧锥型IDT电极102 —侧向输出侧锥型IDT电极103 —侧传输弹性波。在这些 电极102、103之间，设置有用于抑制电极102、103之间的耦合的屏蔽件104，该屏蔽件104 构成为矩形的面状金属膜(所谓的整面膜)。另外，锥型IDT电极也有被称为倾斜型编带状 电极、SFIT或倾斜型电极等。 各个电极102U03包括具有多个电极指106的2条平行的汇流条105，在各个电 极102、 103中，与汇流条105连接的电极指106相互相对，另外，电极指106例如每2条为 1组，相互不同地延伸，成为梳齿形，由此构成SPLIT电极。 在各个电极102、 103中，将电极指106形成为相对于弹性波的传输方向电极指 106的宽度尺寸一定，另外，电极指106、 106之间的间隔尺寸也一定。由该电极指106的宽 度和电极指106、106之间的间隔构成的排列图形被设计成重复某长度的周期单位A idt。 在本例子中，由4条电极指106和该电极指106之间的间隔区域构成一个周期单位A idt， 在该滤波器100中，与周期单位A idt为相同长度的波长的弹性波从输入侧锥形IDT电极 102向输出侧锥型IDT电极103传输。而且设计成相对于弹性波的传输方向，在从一个汇 流条105朝向另一个汇流排105的正交的方向，该周期单位A idt的长度逐渐变宽，即电 极指106的宽度以及电极指106U06之间的间隔分别逐渐变宽。另外，关于IDT电极的结 构，由于在实施方式中详细叙述，因此在这里没有详细记载，关于附图，为了方便也简略地 表示，将电极指106的宽度以及电极指106、 106之间的宽度表示为一定。 通过这样将电极指106的排列图形逐渐展宽而构成锥型IDT，在该滤波器100中， 能够传输从与周期单位A idt狭窄的区域对应的高频至与周期单位A idt宽的区域对应的 低频的弹性波。通过采用这样的结构，能够实现滤波器100的宽带化。 但是，强烈希望实现选择性更出色的SAW滤波器，当前正在研究实现从通带到阻 带的频率区域中的滤波器特性的陡峭化的各种方法。特别是，在这种SAW滤波器100中，由于存在与低频侧(低频带侧)的衰减量相比，高频侧(高频带侧)的衰减特性差这样的问 题，因此要求进行其改善。 简单说明衰减特性这样恶化的原因。如果将形成有与弹性波的波长对应的周期单 位入idt的传输路径称为轨迹(track)，则在SAW滤波器100的IDT电极102、 103中，在形 成有电极指106的区域中，在形成通频带的从低频到高频的轨迹中具有相同的激振信息。 即，在形成有电极指106的区域中，弹性波的传输状态(传输速度)相同。但是，因为在未 形成该电极指106的区域与形成有该电极指106的区域中其传输状态产生差异，所以例如 像图中LO所表示的那样，当通过输入侧锥型IDT电极102的规定的轨迹后的弹性波从输入 侧锥型IDT电极102的输出侧锥型IDT电极103 —侧的边缘向该输出侧锥型IDT电极103 发射时，该弹性波发生折射，不射入输出侧锥形IDT电极103的对应的轨迹，产生能量损失。 由于该能量损失，在高频带侧、低频带侧的任一侧均发生衰减特性的恶化。 此外，与传输低频的轨迹的周期单位Aidt相比，传输高频的轨迹的周期单位 入idt被形成得较小。从而，在从通过图示的例如Aidt狭窄的高频侧的弹性波传输区域 Trl的弹性波和通过A idt宽的低频侧的弹性波传输区域Tr2的弹性波分别观看输入侧 IDT电极102与输出侧IDT电极103之间的传输距离L的情况下，从通过Trl的弹性波观看 时该传输距离L变长。如果传输距离L这样变长，则易于产生由上述的折射引起的能量损 失。 进而，因为从输入侧锥型IDT电极102的端部发射的弹性波发生衍射，所以在输入 侧锥型IDT电极102与输出侧锥型IDT电极103之间的能量传输中发生基于该衍射的损失， 上述传输距离L越长，则该衍射损失也越增大。由于这些理由，与低频带侧相比，高频带侧 的衰减特性的劣化加大。 而在专利文献1中，记载了一种SAW滤波器，该SAW滤波器在锥型输入侧IDT电极 与锥型输出侧IDT电极之间，以规定的间隔配置有反射规定频率的SAW的格栅(grating) 构造物，从而获得在通频带中形成频率阻带即陷波滤波器特性。另外，在专利文献2中记载 有如下方法在输入侧IDT、输出侧IDT之间设置格栅反射器，使该反射器的反射频带宽度 与发生寄生(spurious)信号的频带一致，抑制寄生信号。然而，在这些专利文献l和专利 文献2中，并没有记载上述的问题，不能解决该问题。 专利文献l :日本特开昭61-289714(图4以及图5等) [OO13] 专利文献2 :日本特开平8-335848 (图1以及段落0027等)
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种选择性高的弹性波滤波器，其在通频带的高频侧或者低频侧中均能够得到陡峭的衰减。 本专利技术的弹性波滤波器的特征在于，包括 输入侧锥形IDT电极，其具有在压电基板上相互平行地形成的一对汇流条，和从 这一对汇流条的各个相互交替地伸出而形成为梳齿形的电极指组，电极指的宽度和电极指 之间的间隔形成为随着从上述汇流条的一侧朝向另一侧而变宽； 输出侧锥型IDT电极，其具有在上述压电基板沿着上述输入侧锥型IDT电极的上 述汇流条的延长方向延伸、且从该输入侧锥型IDT电极在弹性波的传输方向隔开间隔设置4的一对汇流条，和从这一对汇流条的各个相互交替地伸出而形成为梳齿形的电极指组，电极指的宽度和电极指之间的间隔形成为随着从上述汇流条的一侧朝向另一侧而变宽；禾口 格栅反射器，其具有在上述输入侧锥型IDT电极与输出侧锥型IDT电极之间沿着弹性波的传输方向排列、且以与上述传输方向正交的方式延伸的电极指组， 在上述弹性波的传输方向看时，上述输入侧锥型IDT电极和输出侧锥型IDT电极的构成各电极指组的各电极指的宽度尺寸相互相同，并且，相互相邻的电极指之间的间隔尺寸形成为与上述电极指的宽度尺寸相同的大小， 在上述弹性波的传输方向看时，上述格栅反射器的电极指组的构成该电极指组的 各电极指的宽度尺寸相同，并且，相互相邻的电极指之间的间隔尺寸形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波滤波器，其特征在于，包括：输入侧锥形ＩＤＴ电极，其具有在压电基板上相互平行地形成的一对汇流条，和从这一对汇流条的各个相互交替地伸出而形成为梳齿形的电极指组，电极指的宽度和电极指之间的间隔形成为随着从所述汇流条的一侧朝向另一侧而变宽；输出侧锥型ＩＤＴ电极，其具有在所述压电基板沿着所述输入侧锥型ＩＤＴ电极的所述汇流条的延长方向延伸、且从该输入侧锥型ＩＤＴ电极在弹性波的传输方向上隔开间隔设置的一对汇流条，和从这一对汇流条的各个相互交替地伸出而形成为梳齿形的电极指组，电极指的宽度和电极指之间的间隔形成为随着从所述汇流条的一侧朝向另一侧而变宽；和格栅反射器，其具有在所述输入侧锥型ＩＤＴ电极与输出侧锥型ＩＤＴ电极之间沿着弹性波的传输方向排列、且以与所述传输方向正交的方式延伸的电极指组，在所述弹性波的传输方向看时，构成所述输入侧锥型ＩＤＴ电极和输出侧锥型ＩＤＴ电极的各电极指组的各电极指的宽度尺寸相互相同，并且，相互相邻的电极指之间的间隔尺寸形成为与所述电极指的宽度尺寸相同的大小，在所述弹性波的传输方向看时，所述格栅反射器的电极指组的构成该电极指组的各电极指的宽度尺寸相同，并且，相互相邻的电极指之间的间隔尺寸形成为与所述宽度尺寸相同的大小，所述电极指的宽度尺寸和电极指之间的间隔尺寸设定为所述输入侧锥型ＩＤＴ电极和输出侧锥型ＩＤＴ电极的电极指的宽度尺寸和电极指之间的间隔尺寸的最小值以下或最大值以上。...

【技术特征摘要】
JP 2008-10-24 2008-274660一种弹性波滤波器，其特征在于，包括输入侧锥形IDT电极，其具有在压电基板上相互平行地形成的一对汇流条，和从这一对汇流条的各个相互交替地伸出而形成为梳齿形的电极指组，电极指的宽度和电极指之间的间隔形成为随着从所述汇流条的一侧朝向另一侧而变宽；输出侧锥型IDT电极，其具有在所述压电基板沿着所述输入侧锥型IDT电极的所述汇流条的延长方向延伸、且从该输入侧锥型IDT电极在弹性波的传输方向上隔开间隔设置的一对汇流条，和从这一对汇流条的各个相互交替地伸出而形成为梳齿形的电极指组，电极指的宽度和电极指之间的间隔形成为随着从所述汇流条的一侧朝向另一侧而变宽；和格栅反射器，其具有在所述输入侧锥型IDT电极与输出侧锥型IDT电极之间沿着弹性波的传输方向排列、且以与所述传输方向正交的方式延伸的电极指组，在所述弹性波的传输方向看时，构成所述输入侧锥型IDT电极和输出侧锥型IDT电极的各电极指组的各电极指的宽度尺寸相互相同，并且，相互相邻的电极指之间的间隔尺寸形成为与所述电极指的宽度尺寸相同的大小，在所述弹性波的传输方向看时，所述格栅反射器的电极指组的构成该电极指组的各电极指的宽度尺寸相同，并且，相互相邻的电极指之间的间隔尺寸形成为与所述宽度尺寸相同的大小，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：津田忠秋，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]