【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种调整扭转式微机电元件共振频率的方法，其包含有： 提供一扭转式微机电元件，其包含一支持结构、一平板主体，以及连接该平板主体与该支持结构的至少二扭转轴； 对该扭转式微机电元件进行一共振频率检测，以获知该扭转式微机电元件的一实际共 振频率；以及 当该扭转式微机电元件的该实际共振频率高于一标准共振频率时，则固定至少一质量块于该平板主体，增加该扭转式微机电元件的质量以使该实际共振频率降低至接近该标准共振频率。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄荣山，何宪龙，
申请(专利权)人：探微科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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