利用超声辐射力拾取、平移固体壁面上微机械构件的方法技术

本发明专利技术公开了一种利用超声辐射力拾取、平移固体壁面上微机械构件的方法。应用两个或三个超声波换能器沿水平和竖直方向合成超声辐射力场，在竖直方向辐射力作用下微构件被拾取脱离固体壁面，通过调节二路或三路超声波的相对相位改变水平辐射力场使得微构件在水平方向直线平移或在水平面内平移，微构件直线移动的方向及移动距离由相位调节量的正负号与绝对值大小控制，二个或三个超声波换能器由超声波信号发生器提供能量，非接触地对微构件进行拾取与直线平移操纵或平面平移操纵。本发明专利技术可靠性高，适用性强，成本低廉，具有很宽的适用面，对于需要非接触地实现微机械构件操纵的场合发挥作用，可应用于微机电系统制造与装配、生物医学工程等领域。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种利用超声辐射力拾取、平移固体壁面上微机械构件的方法，其特征在于：应用两个超声波换能器沿水平和竖直方向合成超声辐射力场，在竖直方向辐射力作用下微构件被拾取脱离固体壁面，通过调节二路超声波的相对相位改变水平辐射力场使得微构件在水平方向直线平移，微构件直线移动的方向及移动距离由相位调节量的正负号与绝对值大小控制，二个超声波换能器由超声波信号发生器提供能量，非接触地对微构件进行拾取与直线平移操纵。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：范宗尉，杨克己，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]