【技术实现步骤摘要】
扫描组件结构
本技术是有关于ー种微结构，且特别是有关于ー种应用于微机电装置的扫描组件结构。背景技木微机电镜面(MEMS mirror)结构在光学上的应用，以镜面在预定的驱动条件下以特殊频率振动，以达成大角度光学扫描的目的。目前已有很多不同型态微机电致动器被提出。当镜面结构在作动时，若镜面结构强度不足，将会造成镜面形状的改变。镜面形状的改变会造成振动频率与反射光点大小的改变。为了增加镜面结构的强度，现有解决的方法是增加镜面结构的厚度。然而，厚度增加会造成扫描组件的重量増加，也会降低镜面结构的振动频率。此外，扫描组件的重量越重，则需要更大的能量才能运作，因此更加耗能。
技术实现思路
本技术有关于ー种扫描组件结构，以解决強度不足及变形的问题，并可在轻量化变形补强的设计下，維持良好的运作。根据本技术的一方面，提出ー种扫描组件结构，包括一基板、一镜面组件层以及一孔状补强层。基板具有相対的一第一侧以及一第二侧。镜面组件层配置于第一侧。孔状补强层相对于镜面组件层配置于第二侧。为了对本技术的上述及其它方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合所附图式，作详细说明如下附图说明图I...
【技术保护点】
一种扫描组件结构，包括：一基板，具有相对的一第一侧以及一第二侧；一镜面组件层，配置于该第一侧；以及一孔状补强层，相对于该镜面组件层配置于该第二侧。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈明发，李柏勋，
申请(专利权)人：探微科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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