The utility model discloses a continuous vacuum transition chamber with seal and X ray protection function dynamic linear vacuum, which is characterized by the transition chamber box, set up in more than two sets of linear transition chamber box sealing device, guiding device, vacuum pumping tube pipe, both ends of the box body lead plate, lead a baffle frame and arranged on the box body protection lead transition chamber; linear dynamic sealing device on the seal block is tightly pressed on the seal plate, forming a linear vacuum seal sealing channel; X ray protective lead baffle with lead plate is arranged between the upper and lower stagger sealing device, vacuum transitional chamber door outsourcing lead, vacuum exhaust pipe connected with the vacuum pump. The utility model has the advantages that: the running state can be continuous through strip metal materials, ensure the vacuum degree of vacuum pressure reaches the studio / 0.51Pa; import and export department, X ray dose reached a safe dose, the vacuum pump vacuum equipment load is small, long-term continuous and stable operation, high efficiency work processing equipment.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种连续真空过渡室,具体是一种具有线性真空动密封及x射线防护功能的连续真空过渡室。
技术介绍
大部分的电子束加工装置,是将被加工件封闭在一个独立的密闭真空仓内进行的。这种装置在每次加工完一件或一批工件后要放大气将工件取出,然后装入新的工件后再抽真空,达到电子束加工所需的工作真空后再进行加工,工作效率低。部分电子束连续加工装置/生产线,如连续电子束钢带真空镀膜生产线,采用了压辊式的连续动密封方式,由于安装压辊需留出支撑位置,因此留出的漏隙大,真空动密封效果不好,真空泵的负荷很大,需采用大功率真空泵来维持所需的工作真空,并且真空泵容易损坏。对于连续运行的电子束加工真空设备,特别是对于60KV以上的高压电子束加工设备,X射线的防护会因为必须留出连续运行的进出口而变得较困难。
技术实现思路
本技术目的是要提供一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的真空过渡室,它能在带状金属材料连续运行过程中,保证真空工作室的真空度/压力达到O. 5-lPa,并使得在材料进出口处的X射线剂量达到国家规定的安全剂量。实现本技术目的的技术方案是本技术连续真空过渡室由过渡室箱体、设置在过渡室 ...
【技术保护点】
一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室,其特征是:它由过渡室箱体(1)、设置在过渡室箱体(1)内的两套以上的线性动密封装置(2)、设置在过渡室箱体(1)两端的导向装置(3)、真空抽气管管道(4)、铅挡板(5)、铅挡板支架(6)和设置在过渡室箱体(1)外的防护铅(7)组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:宋宜梅,黄以平,李少林,
申请(专利权)人:桂林实创真空数控设备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:45[中国|广西]
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