组合式顶杆机构制造技术

本发明专利技术公开了一种组合式顶杆机构，包括垂直升降装置、支撑板及至少三组顶杆组件，垂直升降装置与支撑板连接，顶杆组件的一端呈对称的连接于支撑板上，另一端密封伸入真空腔体内，顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，轴套具有呈中空结构的行程腔，行程腔贯穿轴套，轴套的上端伸入真空腔体内且与真空腔体密封地枢接，固定轴的上端伸入轴套的下端的行程腔内并螺纹连接，固定轴的下端与支撑板固定连接，顶杆套于行程腔内且伸出轴套的上端并与行程腔卡接，弹性元件呈压缩状的抵触于固定轴与顶杆之间并收容于行程腔内；本发明专利技术用于ＯＬＥＤ生产时对真空腔体内物件进行升降，其具有缓冲减震功能，能保证蒸镀设备高清洁度，且结构简单、维护方便。

Combined type ejector rod mechanism

The invention discloses a combined type push rod mechanism comprises a vertical lifting device, a support plate and at least three sets of push rod assembly, vertical lifting device is connected with the support board, one end of the push rod assembly is symmetrically connected on the supporting plate, the other end extends into the sealed vacuum cavity, the top rod assembly comprises a push rod, the elastic element, a fixed shaft and a shaft sleeve, the sleeve has a hollow cavity structure of the travel, travel through the upper cavity sleeve, sleeve extends into the vacuum chamber and vacuum chamber sealed pivot shaft into the sleeve is fixed at the upper end, the lower end of the stroke cavity and the connecting screw, the lower end of the fixed shaft is fixedly connected with the supporting plate. The upper end of the top rod is sheathed on the stroke cavity and sleeve and stroke out cavity clamping, the elastic element is shaped on the fixed shaft compression resistance and push rod and contained in the stroke cavity; the invention is used for OL When the ED is produced, the objects in the vacuum cavity can be lifted and lowered, and the utility model has the functions of buffering and shock absorption, and can ensure the high cleanness of the evaporation equipment, and has the advantages of simple structure and convenient maintenance.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种顶杆机构，尤其涉及一种适用于对真空腔体内物件进行升降并具有缓冲功能的组合式顶杆机构。
技术介绍
有机发光二极管(OLED， Organic Light-Emitting Diode)是一种新的极具潜力的 显示器技术，因其简单的纯固态器件结构及其出色的图像质量，加上自发光、无视角障 碍、低温特性好等优点，OLED显示器已被认为继液晶显示、等离子显示器之后最具市 场价值的新一代平板显示器。OLED的制作过程大都采用以ITO(indium tin oxide)玻璃为基板，利用蒸镀设备将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上，其工艺一般为在玻璃基板上形 成一透明阳极，在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电 子注入层，最后是金属阴极层，其中发光层依次为红、绿、蓝三种颜色，各层膜的厚度 范围为纳米(nm)级别，所以它的总厚度在所有显示器件之中是最薄的。OLED显示器利 用从不同的片断发出的红光、绿光、蓝光来显示图像，因而在OLED显示器上三个发光 层必须沉积在不同的地方，而其它有机层和无机层则沉积在整个区域；将多层薄膜相继 沉积在玻璃基板上时，为了实现不同区域本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种组合式顶杆机构，固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔体内，所述组合式顶杆机构包括垂直升降装置、支撑板及至少三组顶杆组件，所述垂直升降装置与所述支撑板连接，所述顶杆组件的一端呈对称的连接于所述支撑板上，所述顶杆组件的另一端密封伸入所述真空腔体内，其特征在于：所述顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，所述轴套具有呈中空结构的行程腔，所述行程腔贯穿所述轴套，所述轴套的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，所述固定轴的上端伸入位于所述轴套的下端的行程腔内并螺纹连接，所述固定轴的下端与所述支撑板固定连接，所述顶杆套于所述轴套的行程腔内且伸出所述轴套的上端并与所述行程腔卡接，所...

【技术特征摘要】
一种组合式顶杆机构，固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔体内，所述组合式顶杆机构包括垂直升降装置、支撑板及至少三组顶杆组件，所述垂直升降装置与所述支撑板连接，所述顶杆组件的一端呈对称的连接于所述支撑板上，所述顶杆组件的另一端密封伸入所述真空腔体内，其特征在于所述顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，所述轴套具有呈中空结构的行程腔，所述行程腔贯穿所述轴套，所述轴套的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，所述固定轴的上端伸入位于所述轴套的下端的行程腔内并螺纹连接，所述固定轴的下端与所述支撑板固定连接，所述顶杆套于所述轴套的行程腔内且伸出所述轴套的上端并与所述行程腔卡接，所述弹性元件呈压缩状的抵触于所述固定轴与所述顶杆之间并收容于所述行程腔内。2. 如权利要求1所述的组合式顶杆机构，其特征在于所述顶杆的中部向外凸出形 成凸起，所述凸起与所述顶杆的上端形成第一台阶，所述凸起与所述顶杆的下端形成第 二...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，范继良，刘惠森，王曼媛，王勇，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44[]