【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种纳米级结构和器件的半导体装备制造领域，特别涉及一种基于多层对准技术的多功能纳米压印光刻设备。
技术介绍
1、纳米压印技术作为一项先进的纳米制造技术，通过利用精密的纳米压印模板，将精心设计的图案或结构高度精准地压印到基底材料上，实现了高精度和高分辨率的纳米级制造。纳米压印技术的兴起源于多个方面的背景，其中首要的因素之一是对高精度、高分辨率纳米级制造需求的不断增长。随着科技的飞速发展，对微小尺寸、高密度、高性能器件和结构的需求日益增加，推动了新一代纳米制造技术的发展。由于传统制造技术，尤其是光刻技术，面临着光波长限制等局限性，这促使科研人员寻求更为先进和灵活的制造手段。纳米压印技术的出现填补了传统技术的空白，克服了其分辨率和制造精度上的限制。纳米压印技术的开创可以追溯到20世纪90年代中期，当时美国普林斯顿大学的stepheny.chou教授首次提出了这一技术。其基本原理是通过物理或化学手段将纳米压印模板上的图案或结构转移到基底材料上，从而制备出具备纳米级精度和分辨率的薄膜。相较于传统的光刻技术，纳米压印技术具有更高的制造...
【技术保护点】
1.一种基于多层对准技术的多功能纳米压印设备，其特征在于，于基座(19)上依次安装有转动工作台(18)、下压印腔体(11)，X-Y轴移动工作台(16)固定于下压印腔体(11)内部；冷却装置(21)、加热装置(23)和基盘(24)依次叠加固定在X-Y轴移动工作台(16)上；支架(20)的下端与基座(19)相固定，支架(20)的上端与横梁(3)相固定；直流伺服电机(1)与行星齿轮减速器(2)相固定，行星齿轮减速器(2)固定在支座(35)上；所述支座(35)固定在横梁(3)上，联轴器(34)将行星齿轮减速器(2)的输出轴与滚珠丝杠(33)的一端相连，传动螺母(32)与滚珠丝...
【技术特征摘要】
1.一种基于多层对准技术的多功能纳米压印设备，其特征在于，于基座(19)上依次安装有转动工作台(18)、下压印腔体(11)，x-y轴移动工作台(16)固定于下压印腔体(11)内部；冷却装置(21)、加热装置(23)和基盘(24)依次叠加固定在x-y轴移动工作台(16)上；支架(20)的下端与基座(19)相固定，支架(20)的上端与横梁(3)相固定；直流伺服电机(1)与行星齿轮减速器(2)相固定，行星齿轮减速器(2)固定在支座(35)上；所述支座(35)固定在横梁(3)上，联轴器(34)将行星齿轮减速器(2)的输出轴与滚珠丝杠(33)的一端相连，传动螺母(32)与滚珠丝杠(33)相配合；导轨(5)的上端固定在横梁(3)上，直线轴承(4)的内孔与导轨(5)外径相配合，直线轴承(4)和传动螺母(32)均安装在固定板(31)上；所述固定板(31)与支撑箱(31)相固定，支撑箱(31)与上压印腔体(9)相固定，x轴移动工作台上安装电子显微镜组(29)和紫外光源(30)；x轴移动工作台在支撑箱(31)内部固定在上压印腔体(9)上，上压印腔体(9)内安装玻璃板(6)和模板(10)夹具。
2.如权利要求1所述的一种基于多层对准技术的多功能纳米压印设备，其特征在于，通过直流伺服电机(1)、联轴器(34)、滚珠丝杠(33)和传动螺母(32)相配合，将旋转运动转换为上下直线运动推动上压印腔体(9)精确在垂直方向上移动，与下压印腔体(11)形成密闭的工作空间，为纳米压印过程提供可控环境，在密闭的工作空间内进行热纳米压印或紫外纳米压印。
3.如权利要求1所述的一种基于多层对准技术的多功能纳米压印设备，其特征在于在，所述上压印腔体(9)顶端设有紫外光源(30)和电子显微镜组(29)，可在x轴移动工作台上移动调整位置；对准过程移动电子显微镜组(29)在玻璃板(6)上方，紫外压印过程移动紫外光源(30)到玻璃板(6)上方。
4.如权利要求1所述的一种基于多层对准技术的多功能纳米压印设备，其特征在于，模板(10)或晶圆(25)上均设置有两个微小的十字定位标记(50)，标记间距与电子显微镜组(29)间距相同，压印前移动电子显微镜组(29)到玻璃板(6)上方，调整位置确保十字定位标记(50)在显微镜视野范围内。
5.如权利要求1所述的一种基于多层对准技术的多功能纳米压印设备，其特征在于，上压印腔体(9)设有进气孔(7)与出气孔(8)，通过进气孔(7...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。