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本发明公开了一种基于多层对准技术的多功能纳米压印光刻设备，在基座上安装转动工作台与下压印腔体，X‑Y轴移动工作台安装在下压印腔体内部；支架的下端与基座相固定，行星齿轮减速器固定在支座上，支座固定在横梁上，联轴器将行星减速器的输出轴与滚珠丝杠...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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