【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及提拉法涂胶，尤其涉及一种基于提拉法涂胶的装置及其使用方法。
技术介绍
1、滚动压印具有很多平面压印所不具备的优点，滚动压印模具的制作成本比较低但是生产率却不低，有着较好的应用前景。滚动压印模具制造集成电路技术在原理上是利用滚动压印模具的连续滚动，从而不间断地将模具上的图案复制到我们所需要的地方，一般这种图案会被复刻到聚合物薄膜上，对一些成型的商业产品大批量生产非常适合。我们使用这种技术可以更加低成本、髙效率地制作出更多复杂结构的一些微小型器件，例如说可以制作各种大面积微流控器件、各种大面积平板显示器件和阵列式传感器等。
2、在制作压印模具的工艺流程中其中比较重要的一步就是采用提拉法涂胶，而现有的提拉法涂胶方式存在着涂胶效率不高、涂胶不均匀等问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种基于提拉法涂胶的装置及其使用方法，以解决现有的提拉法涂胶方式存在着涂胶效率不高和涂胶不均匀的问题。
2、基于上述目的，本专利技术提供了一种基于提拉法涂胶...
【技术保护点】
1.一种基于提拉法涂胶的装置，包括实验桌(1)，其顶部设有提拉机构(2)、调平机构(3)、光刻胶容器(4)、辅助曝光机构(5)和工业机器人(6)，其特征在于，所述提拉机构(2)的工作端上设有滚动压印模具(7)，所述提拉机构(2)用于对滚动压印模具(7)进行提拉法涂胶，所述提拉机构(2)的一侧设有调平机构(3)，所述调平机构(3)的顶部固设有光刻胶容器(4)，所述光刻胶容器(4)位于所述滚动压印模具(7)的底部，所述调平机构(3)用于对存放有光刻胶的光刻胶容器(4)进行调平，使涂胶均匀，所述辅助曝光机设置在所述调平机构(3)远离所述提拉机构(2)的一侧，所述辅助曝光机构...
【技术特征摘要】
1.一种基于提拉法涂胶的装置，包括实验桌(1)，其顶部设有提拉机构(2)、调平机构(3)、光刻胶容器(4)、辅助曝光机构(5)和工业机器人(6)，其特征在于，所述提拉机构(2)的工作端上设有滚动压印模具(7)，所述提拉机构(2)用于对滚动压印模具(7)进行提拉法涂胶，所述提拉机构(2)的一侧设有调平机构(3)，所述调平机构(3)的顶部固设有光刻胶容器(4)，所述光刻胶容器(4)位于所述滚动压印模具(7)的底部，所述调平机构(3)用于对存放有光刻胶的光刻胶容器(4)进行调平，使涂胶均匀，所述辅助曝光机设置在所述调平机构(3)远离所述提拉机构(2)的一侧，所述辅助曝光机构(5)用于对涂胶完成后的滚动压印模具(7)进行步进式旋转曝光，至少一个工业机器人(6)设置在所述调平机构(3)的旁侧，所述工业机器人(6)固设在所述实验桌(1)上，且所述工业机器人(6)用于夹取...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨帅，黄胜洲，张祥威，李懿，苏瑞东，杨国庆，潘佳妮，吴东杰，
申请(专利权)人：安徽工程大学，
类型：发明
国别省市：
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