下载一种基于提拉法涂胶的装置及其使用方法的技术资料

文档序号:41567897

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本发明涉及提拉法涂胶技术领域,具体涉及一种基于提拉法涂胶的装置及其使用方法,包括实验桌,其顶部设有提拉机构、调平机构、光刻胶容器、辅助曝光机构和工业机器人,所述提拉机构的工作端上设有滚动压印模具,所述提拉机构的一侧设有调平机构,所述调平机构...
该专利属于安徽工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽工程大学授权不得商用。

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