应用于空间光通信的单片集成光电探测器及制备方法技术

本公开提供一种应用于空间光通信的单片集成光电探测器，包括：APD光电探测器(1)，为直径为d的圆形，设于圆形光敏面的中心，用于进行空间光通信；PIN四象限光电限探测器，为四个形状相同的扇形象限组(2)、(3)、(4)和(5)，围绕于APD光电探测器(1)设置，用于跟瞄定位光斑位置；其中，APD光电探测器(1)与扇形象限组(2)、(3)、(4)和(5)之间分别隔离开；APD光电探测器(1)和PIN四象限光电限探测器单片集成在同一衬底材料上，同心设置构成直径为D的圆形光敏面；圆形光敏面上设有ITO导电玻璃，ITO导电玻璃接地；圆形光敏面的背面设有金属电极。本公开的光电探测器提高了定位精度，对有无信标光的空间光通信系统均适用。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及光电探测，具体涉及一种应用于空间光通信的单片集成光电探测器及制备方法。

技术介绍

1、空间光通信系统只能定向通信，因此双方必须时刻保持正面相对，特别是对于卫星激光通信系统来说，其跟瞄精度一般应优于2urad，瞄准精度一般应优于1urad，这样高的跟瞄精度加上复杂的工作环境以及对可靠性的要求，决定了作为整个跟踪瞄准系统中最重要的光电探测器要具有接收范围大，响应速度快等优点。现有的跟踪瞄准系统中采用的半导体光电探测器通常为四象限探测器(four-quadrant photodetector，qpd)或雪崩光电二极管(avalanche photo diode，apd)，它们捕获视场角和跟踪视场角都很有限，且无法同时实现通信和跟瞄。且现有空间光通信系统需要采用定位系统、定向系统、微波链路和信标光等辅助实现建链跟瞄，从而大幅度增加激光终端的体积和重量，限制了其广泛应用场景。

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、针对上述问题，本公开提供了一种应用于空间光通信的单片集成光电探测器及制备方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种应用于空间光通信的单片集成光电探测器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的应用于空间光通信的单片集成光电探测器，其特征在于，所述APD光电探测器(1)对应的ITO导电玻璃区域上设有信号光增透膜；

3.根据权利要求1所述的应用于空间光通信的单片集成光电探测器，其特征在于，所述APD光电探测器(1)的面积小于所述PIN四象限光电限探测器的面积。

4.根据权利要求3所述的应用于空间光通信的单片集成光电探测器，其特征在于，所述圆形光敏面的直径D大于两倍所述APD光电探测器(1)的直径d。

5.根据权利要求1所述的应用于空间光通信的单...

【技术特征摘要】

1.一种应用于空间光通信的单片集成光电探测器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的应用于空间光通信的单片集成光电探测器，其特征在于，所述apd光电探测器(1)对应的ito导电玻璃区域上设有信号光增透膜；

3.根据权利要求1所述的应用于空间光通信的单片集成光电探测器，其特征在于，所述apd光电探测器(1)的面积小于所述pin四象限光电限探测器的面积。

4.根据权利要求3所述的应用于空间光通信的单片集成光电探测器，其特征在于，所述圆形光敏面的直径d大于两倍所述apd光电探测器(1)的直径d。

5.根据权利要求1所述的应用于空间光通信的单片集成光电探测器，其特征在于，所述衬底材料包括硅、磷化铟、氮化镓、碳化硅、砷化镓铟和碲化汞镉中的一种。

【专利技术属性】
技术研发人员：孙凝，王跃辉，朱慧时，刘建国，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：