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应用于空间光通信的单片集成光电探测器及制备方法技术
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下载应用于空间光通信的单片集成光电探测器及制备方法的技术资料
文档序号:41453908
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本公开提供一种应用于空间光通信的单片集成光电探测器,包括:APD光电探测器(1),为直径为d的圆形,设于圆形光敏面的中心,用于进行空间光通信;PIN四象限光电限探测器,为四个形状相同的扇形象限组(2)、(3)、(4)和(5),围绕于APD光...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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