【技术实现步骤摘要】
本公开总体涉及用于清洁容器的方法和装置。更具体地，本公开涉及使用溶剂和伴随的废物容器来清洁源容器，该源容器容纳化学制品并在半导体器件的制造过程中使用。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，容器用于容纳和输送各种化学物质到半导体制造工具。这些容器中的许多在制造过程中和/或仍连接到工具时被周期性地重新填充。然而，随着时间的推移，这些容器中可能会出现杂质的累积，例如部分分解或部分反应的化学物质。容器中杂质的累积会导致剂量变化或缺陷问题，这需要将容器从工具中取出并更换，在此期间，半导体制造工具被关闭且不可操作。
技术实现思路
1、本技术的各种实施例可以提供用于清洁源容器的方法和装置。源容器可以用溶剂填充或部分填充以形成溶液。溶液从源容器中移出并包含在与源容器相连的废物容器中。废物容器内部可具有波纹管或其他机构，以在废物容器中产生负压，从而将溶液从源容器中抽出并进入废物容器。可替代地，可以使用液体泵将溶液从源容器抽到废物容器中。
2、根据一方面，一种装置包括第一容器，包括：由侧壁、顶面和底面限定的内部体积，其中侧壁从底面向上延伸到顶面；设置在顶面处的第一入口端口；连接到第一入口的第一入口管，其中入口管延伸到第一容器的内部体积中；以及从顶面向底面延伸的第一出口管；和第二容器，包括：由侧壁、顶面和底面限定的内部体积；设置在第二容器的内部体积内并配置为膨胀和收缩的机构；连接到第一出口管的第二入口管；配置为使空气流入所述机构的第三入口端口；以及设置在第二容器的底面处的第二出口端口。
...【技术保护点】
1.一种装置，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一入口管配置为将液体输送至所述第一容器的内部体积。
3.根据权利要求1所述的装置，还包括加热元件，其设置在所述第一容器的外表面上并且配置为将第一容器保持在第一温度。
4.根据权利要求1所述的装置，还包括设置在所述第一出口管和第二入口管之间的固体颗粒计数器。
5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一入口管还包括指向所述第一容器的底面的多个喷嘴。
6.根据权利要求1所述的装置，还包括传感器，其设置在所述第一容器的内部体积中并且配置为检测液体。
7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二容器的内部体积通过所述第一出口端口和第二入口管连接到所述第一容器的内部体积。
8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一容器还包括设置在第一容器的内部体积外部并且在所述顶面上的第一出口端口，其中第一出口端口连接到所述第一出口管。
9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述第一入口端口包括第一阀，所述第一出口端口包括第二阀。
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11.一种清洁包含溶质的源容器的方法，包括：
12.根据权利要求11所述的方法，还包括检测所述溶液中溶质的颗粒物质。
13.根据权利要求11所述的方法，其中，在所述废物容器中产生负压包括通过真空源压缩设置在废物容器内部的波纹管。
14.根据权利要求13所述的方法，其中，从所述废物容器中排出所述溶液包括通过对所述波纹管加压来膨胀波纹管。
15.根据权利要求11所述的方法，还包括干燥所述源容器，包括加热源容器并排空源容器中的空气。
16.根据权利要求11所述的方法，还包括：
17.根据权利要求11所述的方法，还包括在将溶剂流入所述源容器之前，将氟自由基引入源容器。
18.一种装置，包括：
19.根据权利要求18所述的装置，还包括设置在所述第一出口端口和第二入口管之间的固体颗粒计数器。
20.根据权利要求18所述的装置，其中，所述第一入口管还包括指向所述第一容器的底面的多个喷嘴。
...【技术特征摘要】
1.一种装置，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一入口管配置为将液体输送至所述第一容器的内部体积。
3.根据权利要求1所述的装置，还包括加热元件，其设置在所述第一容器的外表面上并且配置为将第一容器保持在第一温度。
4.根据权利要求1所述的装置，还包括设置在所述第一出口管和第二入口管之间的固体颗粒计数器。
5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一入口管还包括指向所述第一容器的底面的多个喷嘴。
6.根据权利要求1所述的装置，还包括传感器，其设置在所述第一容器的内部体积中并且配置为检测液体。
7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二容器的内部体积通过所述第一出口端口和第二入口管连接到所述第一容器的内部体积。
8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一容器还包括设置在第一容器的内部体积外部并且在所述顶面上的第一出口端口，其中第一出口端口连接到所述第一出口管。
9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述第一入口端口包括第一阀，所述第一出口端口包括第二阀。
10.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·L·温科勒，P·马，E·J·希罗，S·加格，J·巴基，T·邓恩，J·伦奇，S·张，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：
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