【技术实现步骤摘要】
这里所讨论的实施方式涉及基板加工系统。
技术介绍
本说明书中将公开的基板加工系统一般包括基板处理装置，其用于处理各自装 载在相应托盘上而且被顺序从入口传送到出口的多个基板；托盘传送机，其用于顺次使在 出口处卸除了基板的托盘返回到另一传送机上的入口 ；以及托盘控制器，其用于控制对这 些托盘的处理。 作为前述系统优选示例的前述基板处理装置通常为回焊炉，该回焊炉用于对表面 贴装(SMT :surface mount)基板上的电子元件预涂焊料并进行焊接。该回焊炉设置有托盘 传送机系统(PCS:pallet conveyorsystem)，作为用于自动将空托盘再返回到入口的前述托盘传送机。该回焊炉还设置有用于控制对这些托盘的处理的托盘控制器。本说明书将主 要解释作为优选示例的托盘控制器、前述回焊炉和托盘传送机系统。 日本未审专利申请公开63-36410和日本未审专利申请公开08-78838说明了使用数据基板控制处理批次的结束的技术和关于FPC回焊传送机托盘的技术。 图7是示意性例示了作为基板加工系统的一个示例的回焊炉和托盘传送机的主视图。 在图中，附图标记l表示基板加工系...
【技术保护点】
一种基板加工系统，其用于加工多个基板批次中的不同类型的基板，所述基板加工系统包括：基板处理装置，其包括能够装载基板的预定数量的托盘，所述基板处理装置用于将这些托盘从入口传送到出口，这些托盘包括基准托盘；托盘传送机，其用于顺序地返回这些托盘，以便将这些托盘从所述基板处理装置的出口传送到入口；以及托盘控制器，其用于控制托盘管理，所述托盘控制器包括：计数器，其用于在所述基板处理装置的入口处对所传送的托盘进行计数；基准检测器，其用于在所述基板处理装置的入口处检测所述基准托盘；第一监视器，其用于当在所述基板处理装置的入口处基板批次已经被更改并且所述基准检测器检测到在所述基板处理装置的...
【技术特征摘要】
JP 2008-9-30 2008-254363一种基板加工系统，其用于加工多个基板批次中的不同类型的基板，所述基板加工系统包括基板处理装置，其包括能够装载基板的预定数量的托盘，所述基板处理装置用于将这些托盘从入口传送到出口，这些托盘包括基准托盘；托盘传送机，其用于顺序地返回这些托盘，以便将这些托盘从所述基板处理装置的出口传送到入口；以及托盘控制器，其用于控制托盘管理，所述托盘控制器包括计数器，其用于在所述基板处理装置的入口处对所传送的托盘进行计数；基准检测器，其用于在所述基板处理装置的入口处检测所述基准托盘；第一监视器，其用于当在所述基板处理装置的入口处基板批次已经被更改并且所述基准检测器检测到在所述基板处理装置的入口处没有所述基准托盘时启动第一告警；以及第二监视器，其用于当所述计数器计数了这些托盘的预定数量并且所述基准检测器检测到在所述基板处理装置的入口处没有所述基准托盘时启动第二告警。2. 根据权利要求1所述的基板加工系统，其中，所述基板加工系统还包括基准检测传 感器，所述基准检测传感器用于检测所述基准托盘，并且在所述基准检测传感器检测到所 述基准托盘时向所述基准检测器输出第一检测信号。3. 根据权利要求2所述的基板加工系统，其中，所述托盘带有基准标记，其中，所述基 准检测传感器检测所述托盘上的基准标记。4. 根据权利要求2所述的基板加工系统，其中，所述基板加工系统还包括托盘检测传 感器，所述托盘检测传感器用于向所述计数器输出指示这些托盘的通过的第二检测信号。5. 根据权利要求4所述的基板加工系统，其中，所述基板加工系统还包括用于操作所 述计数器的操作面板；其中，通过所述操作面板对所述计数器设定所述托盘的所述预定数6. 根据权利要求1所述的基板加工系统，其中，所述基板加工系统还包括用于操作所 述第一监视器的操作面板；其中，当所述第一监视器接收到来自所述操作面板的启动信号 时，所述第一监视器启动在所述基板处理装置的入口处的对所述基准托盘的监视。7. 根据权利要求1所述的基板加工系统，其中，所述基板加工系统还包括操作面板，所 述操作面板包括带有内置灯的按钮；其中，所述第一监视器和所述第二监视器利用所述操 作面板...
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