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本发明涉及一种基板加工系统，其包括：基板处理装置，其用于将托盘从入口传送到出口；托盘传送机，其用于顺序地返回托盘，以便将托盘从出口传送到入口；以及托盘控制器，其中，所述托盘控制器包括：计数器，其用于在基板处理装置的入口处对所传送的托盘进行计...
该专利属于富士通株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士通株式会社授权不得商用。

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