【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆运输，具体涉及四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂。
技术介绍
1、在晶圆运输的过程中，需要使用到专门的机械臂，晶圆机械臂可以完成晶圆运输过程中的取放操作，现有的晶圆机械臂，例如授权公告号为cn101436562b的专利公开的双臂晶圆传输机械手以及公开号为cn108098794a的专利公开的机械手臂及其晶圆传送装置与晶圆检测机台，此类机械臂在取放晶圆的过程中，由于机械手臂上的晶圆托盘在取放晶圆时，为了避让取放晶圆的路径，需要增加晶圆托盘悬臂的长度，导致晶圆托盘的刚性不足，因而导致提高晶圆传送效率时会引起结构振动，从而使晶圆的运输不稳定，且容易导致晶圆的取放位置出现误差，影响了晶圆的加工。
技术实现思路
1、为了克服上述的技术问题，本专利技术的目的在于提供四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，以解决现有技术中，在取放晶圆的过程中，由于机械手臂上的晶圆托盘在取放晶圆时，为了避让取放晶圆的路径，需要增加晶圆托盘悬臂的长度，导致晶圆托盘的刚性不足，因而导致提高晶圆传送效率时会引起结构振动的问题。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、具体是提供一个四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，包括机械底座，机械底座的顶面设有避让臂，避让臂的顶面两端均设有晶圆机械臂和晶圆托盘；所述避让臂旋转带动其中一个晶圆机械臂取放晶圆时，使另一个晶圆机械臂旋转固定角度，避让取放晶圆的路径。
4、作为本专利技术进一步的方案：所述避让臂包
5、作为本专利技术进一步的方案：所述两组晶圆机械臂与第一大臂和第二大臂对接处的距离大于晶圆托盘的最大宽度。
6、作为本专利技术进一步的方案：所述晶圆托盘的形状均为c字形，且端头位置均设有晶圆缺口，晶圆缺口用于放置晶圆。
7、作为本专利技术进一步的方案：所述晶圆缺口内设有负压吸盘。
8、作为本专利技术进一步的方案：所述机械底座包括底座主体，底座主体的底面固定连接有底板，底座主体的顶面固定连接有顶板，底板的顶面螺栓连接有升降电机，升降电机的一侧设有传动箱，传动箱的顶端安装有丝杠和滚珠螺母，滚珠螺母嵌套在丝杠上。
9、作为本专利技术进一步的方案：所述底座主体的内侧设有升降座，升降座的侧面与滚珠螺母的侧面固定连接，升降座的内侧设有第一转轴和第二转轴，第一转轴的顶端与第一大臂连接，第二转轴的顶端与第二大臂连接。
10、作为本专利技术进一步的方案：所述避让臂与两组晶圆机械臂的连接处以及晶圆机械臂和晶圆托盘的连接处均设有校准机构。
11、作为本专利技术进一步的方案：所述校准机构包括第一转子，第一转子的内侧设有第二转子，第二转子的侧面固定连接有滑块，第一转子的内部开设有与滑块相匹配的滑槽，第一转子的一侧固定连接有油缸壳，油缸壳远离第一转子的一端安装有液压缸。
12、作为本专利技术进一步的方案：所述机械底座的内部设有控制模块，避让臂和晶圆机械臂上设有激光感应器；
13、所述控制模块预设晶圆机械臂和晶圆托盘静止状态的初始位置；
14、所述控制模块通过激光感应器采集晶圆机械臂和晶圆托盘工作n次后静止状态的停止位置，n为正整数；
15、基于停止位置与初始位置的偏差，控制模块根据偏差使用校准机构校准晶圆机械臂和晶圆托盘静止状态的停止位置。
16、本专利技术的有益效果：
17、1、本专利技术中，通过设置的避让臂，当避让臂通过其中一组晶圆机械臂控制晶圆托盘时，避让臂、该组晶圆机械臂和该组晶圆托盘会根据晶圆的位置旋转一定角度，使该组晶圆托盘移动至晶圆的位置，当使用上方的晶圆托盘取放晶圆时，避让臂会逆时针旋转一定角度，同时与上方的晶圆托盘连接的晶圆机械臂也会旋转，而避让臂旋转的同时，会通过另一组晶圆机械臂带动下方的晶圆托盘，使下方的晶圆托盘旋转同样的角度，避开上方的晶圆托盘取放晶圆的路径，这时候晶圆托盘就不需要设计很长的悬臂，刚性能得到很好的保证，提高晶圆传送效率也不会引起结构振动。
18、2、本专利技术中，当该晶圆机械臂控制晶圆托盘取放晶圆，完成晶圆取放的一个循环后，晶圆机械臂会移动返回至初始的位置，此时控制模块再次通过激光感应器采集晶圆机械臂静止状态的停止位置，此时控制模块通过激光感应器采集晶圆机械臂上标记点的坐标，然后根据坐标和坐标之间的距离来校准晶圆机械臂静止状态的停止位置，保证晶圆机械臂在运输晶圆的过程中精确度更高。
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1.四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述避让臂（2）包括第一大臂（21）和第二大臂（22），第一大臂（21）和第二大臂（22）之间的夹角为一百五十度至一百八十度，第一大臂（21）和第二大臂（22）的顶端分别与两组晶圆机械臂（3）转动连接。
3.根据权利要求2所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述两组晶圆机械臂（3）与第一大臂（21）和第二大臂（22）对接处的距离大于晶圆托盘（4）的最大宽度。
4.根据权利要求3所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述晶圆托盘（4）的形状均为C字形，且端头位置均设有晶圆缺口，晶圆缺口用于放置晶圆。
5.根据权利要求4所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述晶圆缺口内设有负压吸盘。
6.根据权利要求3所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述机械底座（1）包括底座主体（11），底座主体（11
7.根据权利要求6所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述底座主体（11）的内侧设有升降座（17），升降座（17）的侧面与滚珠螺母（171）的侧面固定连接，升降座（17）的内侧设有第一转轴（18）和第二转轴（19），第一转轴（18）的顶端与第一大臂（21）连接，第二转轴（19）的顶端与第二大臂（22）连接。
8.根据权利要求3所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述避让臂（2）与两组晶圆机械臂（3）的连接处以及晶圆机械臂（3）和晶圆托盘（4）的连接处均设有校准机构（5）。
9.根据权利要求8所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述校准机构（5）包括第一转子（51），第一转子（51）的内侧设有第二转子（52），第二转子（52）的侧面固定连接有滑块（521），第一转子（51）的内部开设有与滑块（521）相匹配的滑槽（55），第一转子（51）的一侧固定连接有油缸壳（53），油缸壳（53）远离第一转子（51）的一端安装有液压缸（54）。
10.根据权利要求9所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述机械底座（1）的内部设有控制模块，避让臂（2）和晶圆机械臂（3）上设有激光感应器；
...【技术特征摘要】
1.四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述避让臂（2）包括第一大臂（21）和第二大臂（22），第一大臂（21）和第二大臂（22）之间的夹角为一百五十度至一百八十度，第一大臂（21）和第二大臂（22）的顶端分别与两组晶圆机械臂（3）转动连接。
3.根据权利要求2所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述两组晶圆机械臂（3）与第一大臂（21）和第二大臂（22）对接处的距离大于晶圆托盘（4）的最大宽度。
4.根据权利要求3所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述晶圆托盘（4）的形状均为c字形，且端头位置均设有晶圆缺口，晶圆缺口用于放置晶圆。
5.根据权利要求4所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述晶圆缺口内设有负压吸盘。
6.根据权利要求3所述的四手指大气洁净双晶圆同取叠合避让式机械臂，其特征在于，所述机械底座（1）包括底座主体（11），底座主体（11）的底面固定连接有底板（12），底座主体（11）的顶面固定连接有顶板（13），底板（12）的顶面螺栓连接有升降电机（14），升降电机（14）的一侧设有传动箱（15），传动箱（15）的顶端安装有丝杠（16...
【专利技术属性】
技术研发人员：林坚，王彭，吴国明，王栋梁，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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