一种晶圆机械手位置自适应校准方法及系统技术方案

本发明专利技术属于搬运机械手技术领域，本发明专利技术公开了一种晶圆机械手位置自适应校准方法及系统；方法包括：将机械臂一次晶圆转运过程划分n个采集区域，得到c个节点；收集历史机械臂状态数据，历史机械臂状态数据包括第c个节点的历史转轴状态特征数据，以及第c个节点的历史转轴状态特征数据对应的第c+1个节点的历史转轴坐标偏差量；基于历史机械臂状态数据训练出预测坐标偏差量的坐标偏差量预测模型；对预测坐标偏差量分析，判断是否生成补偿指令；根据补偿指令对应的预测坐标偏差量，确定相应电机补偿量，对机械臂进行驱动补偿；有效避免了补偿过程中机械臂产生新的位置偏移，提高了晶圆搬运的精度和可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及搬运机械手，更具体地说，本专利技术涉及一种晶圆机械手位置自适应校准方法及系统。

技术介绍

1、晶圆搬运机械手在执行任务时，需要准确地控制其位置，以确保晶圆的正确放置和搬运；然而，环境干扰等因素，机械手的位置会产生误差；这些误差导致晶圆搬运的精度下降，甚至出现错误操作，对晶圆质量和生产效率都会产生负面影响；

2、现有授权公告号为cn113305831b的中国专利公开了一种空间机械臂自适应协调控制的位置观测器设计方法及系统，包括：建立空间机械臂的扩展运动学模型；确定航天器参考角速度，设计任务空间位置观测器；确定机械臂关节参考速度；确定空间机械臂自适应动力学协调控制律和参数更新律；采用得到的自适应动力学协调控制律和参数更新律，实现航天器姿态调节和末端执行器对任务空间中期望轨迹的跟踪。该专利技术基于任务空间位置观测器设计了空间机械臂自适应动力学协调控制器，能够在空间机械臂系统参数存在不确定性的情况下，仅仅通过控制机械臂的运动就可以同时达到机械臂末端轨迹跟踪与基座航天器姿态调节的目的。

3、现有技术检测到机械臂位置存在偏移时，进本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆机械手位置自适应校准方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手位置自适应校准方法，其特征在于，所述历史转轴状态特征数据包括每个节点的移动速度、移动加速度、晶圆重量、环境温度、转轴升温速率、转轴振动、第c节点的实际位置坐标、第c节点的标准位置坐标、第c+1节点的标准位置坐标与皮带轮磨损程度。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆机械手位置自适应校准方法，其特征在于，所述移动速度为机械臂执行末端转运速度；

4.根据权利要求3所述的一种晶圆机械手位置自适应校准方法，其特征在于，所述皮带轮磨损程度为主动齿轮与机械臂执行末端齿轮传动...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆机械手位置自适应校准方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手位置自适应校准方法，其特征在于，所述历史转轴状态特征数据包括每个节点的移动速度、移动加速度、晶圆重量、环境温度、转轴升温速率、转轴振动、第c节点的实际位置坐标、第c节点的标准位置坐标、第c+1节点的标准位置坐标与皮带轮磨损程度。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆机械手位置自适应校准方法，其特征在于，所述移动速度为机械臂执行末端转运速度；

4.根据权利要求3所述的一种晶圆机械手位置自适应校准方法，其特征在于，所述皮带轮磨损程度为主动齿轮与机械臂执行末端齿轮传动偏差，所述主动齿轮与机械臂执行末端齿轮传动偏差的计算方法包括：

5.根据权利要求4所述的一种晶圆机械手位置自适应校准方法，其特征在于，所述偏差量预测模型包括x轴坐标偏差量预测模型、y轴坐标偏差量预测模型与z轴坐标偏差量预测模型；x轴坐标偏差量预测模型、y轴坐标偏差量预测模型与z轴坐标偏差量预测模型的输入数据均为第c个节点的历史转轴状态特征数据；x轴坐标偏差量预测模型输出为x轴预测偏差量，y轴坐标偏差量预测模型...

【专利技术属性】
技术研发人员：林坚，王彭，吴国明，王栋梁，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：