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本发明属于搬运机械手技术领域，本发明公开了一种晶圆机械手位置自适应校准方法及系统；方法包括：将机械臂一次晶圆转运过程划分n个采集区域，得到c个节点；收集历史机械臂状态数据，历史机械臂状态数据包括第c个节点的历史转轴状态特征数据，以及第c个节...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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