【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于x射线发射，尤其涉及一种背反式单色化x射线源装置及其使用方法。
技术介绍
1、x射线具有特殊的物理、化学效应，广泛应用于材料的检测(如xrd、xps、xrf、ct)，用于成分、价态、结构表征等领域。x射线源是精密检测设备的核心零部件/元器件中重要的一部分，主要应用于材料科学、物理学、化学等科学领域，以及在无损检测、医疗、精细化工、半导体、新能源、安检等工业领域有广泛的用途。目前，随着我国精密检测设备需求的不断提升，关键核心部件供给不足的问题日益凸显，特别是随着集成电路、新能源电池等产业的发展，市场正面临“一源难求”的困境，严重影响了下游相关产业的产品质量检测水平。
2、单色x射线源对某些分析仪器的分辨率，比如xps非常重要，传统的单色仪利用前置方案，x射线发射源点经过大面积的石英等弯曲晶体衍射、聚焦于像点，光路遵循罗兰圆结构，擅长于微区x射线单色化汇聚。
3、但是对于某些有机材料，特别是光刻胶材料分析而言，聚焦的x射线强度过大，导致材料快速分解和破坏，无法进行准确的能谱分析，比如xps的成分和价态分...
【技术保护点】
1.一种背反式单色化X射线源装置，其特征在于，为X射线源提供一种背反式结构，用于实现发散性单色化X射线，包括：
2.如权利要求1所述背反式单色化X射线源装置，其特征在于，所述背反式单色化X射线源装置包括：电子枪、灯丝系统、分区阳极靶材、冷却系统、单色器系统；电子枪和单色器系统设置在装置外部，分区阳极靶材设置在装置内部，分区阳极靶材外部设置有灯丝系统，内部设置有阳极铜座和冷却系统。
3.如权利要求1所述背反式单色化X射线源装置，其特征在于，背反式单色化X射线源装置有两种工作方式，包括电子枪模式和灯丝模式；冷却系统中的冷却水路外部设置有阳极铜座。<...
【技术特征摘要】
1.一种背反式单色化x射线源装置，其特征在于，为x射线源提供一种背反式结构，用于实现发散性单色化x射线，包括：
2.如权利要求1所述背反式单色化x射线源装置，其特征在于，所述背反式单色化x射线源装置包括：电子枪、灯丝系统、分区阳极靶材、冷却系统、单色器系统；电子枪和单色器系统设置在装置外部，分区阳极靶材设置在装置内部，分区阳极靶材外部设置有灯丝系统，内部设置有阳极铜座和冷却系统。
3.如权利要求1所述背反式单色化x射线源装置，其特征在于，背反式单色化x射线源装置有两种工作方式，包括电子枪模式和灯丝模式；冷却系统中的冷却水路外部设置有阳极铜座。
4.如权利要求1所述背反式单色化x射线源装置，其特征在于，分区阳极靶材中的材料和数量根据实际情况设置。
5.如权利要求1所述背反式单色化x射线源装置，其特征在于，背反式单色化x射线源装置保护壳上有预留窗口，设置在目标反方向处，预留窗口是可开关窗口；背反式单色化x射线源装置配合聚...
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