【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆制造，具体为一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构及其巡边方法。
技术介绍
1、在半导体生产制造过程中，由于晶圆放置在晶圆承载台时，其位置不够精确，因此在通过晶圆承载台将晶圆传输至相应的加工机台之前，需要对晶圆进行巡边定位，保证在晶圆承载台上的晶圆定位精准，从而转移到加工机台上也会精准。
2、公开号为cn117080140a的专利公开了一种预对准方法、系统、晶圆巡边机、数据处理设备及介质，其中，所述预对准方法包括：获取晶圆各测量点的边缘数据，以及各测量点相对于预设基准的多个高度数据，其中，高度数据用于表征晶圆表面的翘曲程度；根据各测量点相对于预设基准的多个高度数据，对各测量点的边缘数据进行修正，确定各测量点的修正边缘数据；根据各测量点的修正边缘数据和预对准位置，生成位置调整信号，所述位置调整信号用于控制调节所述晶圆的位置。采用上述技术方案，能够提高晶圆的对准精度。
3、如上述申请相同，现有的晶圆定位巡边机构，一般都是通过获取晶圆的边缘位置，通过算法得到位置纠偏补偿值，利用xy调节底座进行位置纠偏，使...
【技术保护点】
1.一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，包括基座（1）和固定设置在基座（1）上的晶圆承载台（2），其特征在于：还包括自动巡边组件（3）；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述基座（1）下表面中心处一体成型有固定轴（101），所述定位轴（34）的外壁沿其周向等间距设置有若干个条形凸起（35），若干个条形凸起（35）用于对定位轴（34）进行限位。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述联动组件（4）包括圆形座（41），所述圆形座（41）焊接固定在固定轴（101）的下表面，...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，包括基座（1）和固定设置在基座（1）上的晶圆承载台（2），其特征在于：还包括自动巡边组件（3）；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述基座（1）下表面中心处一体成型有固定轴（101），所述定位轴（34）的外壁沿其周向等间距设置有若干个条形凸起（35），若干个条形凸起（35）用于对定位轴（34）进行限位。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述联动组件（4）包括圆形座（41），所述圆形座（41）焊接固定在固定轴（101）的下表面，所述圆形座（41）上表面设置有弧形楔形块（43），所述弧形楔形块（43）的圆心与立轴（31）在同一竖直线上。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述圆形座（41）上表面开设有半圆形滑槽（42），所述弧形楔形块（43）下表面固定有滑块（45），所述滑块（45）一侧壁上焊接有弹簧（44），所述半圆形滑槽（42）的圆心与立轴（31）在同一竖直线上，所述圆形座（41）下表面转动连接有转轴（46），所述转轴（46）外壁上焊接有驱动杆（410），所述驱动杆（410）与滑块（45）远离弹簧（44）的一端抵接，所述转轴（46）的底端焊接有第一联动齿轮（47），所述圆形座（41）上安装有低速电机（48），所述低速电机（48）的输出轴上固接有第一驱动齿轮（49），所述第一驱动齿轮（49）和第一联动齿轮（47）啮合连接。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员：林坚，王彭，吴国明，王栋梁，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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