【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆制造，具体为一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构及其巡边方法。
技术介绍
1、在半导体生产制造过程中，由于晶圆放置在晶圆承载台时，其位置不够精确，因此在通过晶圆承载台将晶圆传输至相应的加工机台之前，需要对晶圆进行巡边定位，保证在晶圆承载台上的晶圆定位精准，从而转移到加工机台上也会精准。
2、公开号为cn117080140a的专利公开了一种预对准方法、系统、晶圆巡边机、数据处理设备及介质，其中，所述预对准方法包括：获取晶圆各测量点的边缘数据，以及各测量点相对于预设基准的多个高度数据，其中，高度数据用于表征晶圆表面的翘曲程度；根据各测量点相对于预设基准的多个高度数据，对各测量点的边缘数据进行修正，确定各测量点的修正边缘数据；根据各测量点的修正边缘数据和预对准位置，生成位置调整信号，所述位置调整信号用于控制调节所述晶圆的位置。采用上述技术方案，能够提高晶圆的对准精度。
3、如上述申请相同，现有的晶圆定位巡边机构，一般都是通过获取晶圆的边缘位置，通过算法得到位置纠偏补偿值，利用xy调节底座进行位置纠偏，使得晶圆的圆心纠偏到原点位置，这样的定位巡边方法，首先晶圆放置到承载台上，需要多次多位置获取晶圆的边缘位置，采集的数据越多，定位越精准，导致晶圆的定位需要浪费较多的时间。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本专利技术提供了一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构及其巡边方法。
2、本专利技术采用以下技术方案，一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，
3、自动巡边组件包括转动连接在基座下表面的立轴，所述立轴上固接第一连接臂，所述第一连接臂远离立轴的一端插接有定位轴，所述定位轴的顶端固接有第二连接臂，所述第二连接臂远离定位轴的一端下表面转动连接有巡边导向轮，所述基座下方设置有驱动自动巡边组件转动的驱动组件；
4、所述基座的下方还设置有联动组件，联动组件与自动巡边组件传动连接，当驱动组件驱动第一连接臂和巡边导向轮转动到基座外侧，联动组件同步带动第一连接臂和巡边导向轮下移到基座的下方，当驱动组件驱动第一连接臂和巡边导向轮转动到基座上方时，联动组件同步带动第一连接臂和巡边导向轮上移到基座的上方。
5、作为上述技术方案的进一步描述：所述基座下表面中心处一体成型有固定轴，所述定位轴的外壁沿其周向等间距设置有若干个条形凸起，若干个条形凸起用于对定位轴进行限位，使其不会发生转动，只能上下移动。
6、作为上述技术方案的进一步描述：所述联动组件包括圆形座，所述圆形座焊接固定在固定轴的下表面，所述圆形座上表面设置有弧形楔形块，所述弧形楔形块的圆心与立轴在同一竖直线上。
7、作为上述技术方案的进一步描述：所述圆形座上表面开设有半圆形滑槽，所述弧形楔形块下表面固定有滑块，所述滑块一侧壁上焊接有弹簧，所述半圆形滑槽和弧形楔形块的圆心与立轴在同一竖直线上，所述圆形座下表面转动连接有转轴，所述转轴外壁上焊接有驱动杆，所述驱动杆与滑块远离弹簧的一端抵接，所述转轴的底端焊接有第一联动齿轮，所述圆形座上安装有低速电机，所述低速电机的输出轴上固接有第一驱动齿轮，所述第一驱动齿轮和第一联动齿轮啮合连接。
8、作为上述技术方案的进一步描述：所述驱动组件包括固定在圆形座上的伺服电机，所述伺服电机的输出轴上固定有第二驱动齿轮，所述固定轴上转动连接有第二联动齿轮，所述立轴的底端固接有第三联动齿轮，所述第二驱动齿轮与第二联动齿轮啮合连接，所述第二联动齿轮与第三联动齿轮啮合连接。
9、作为上述技术方案的进一步描述：所述圆形座外壁上焊接有连接座，所述连接座上开设有安装孔，所述连接座下表面安装有控制器。
10、作为上述技术方案的进一步描述：所述晶圆承载台上表面开设有圆形槽，所述圆形槽内嵌设安装有气动吸盘，所述圆形槽共开设有若干个，且若干个圆形槽呈环形分布，相邻两圆形槽之间的间距相等。
11、一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边方法，包括以下步骤：
12、采集基座上晶圆历史定位巡边参数，历史定位巡边参数为在晶圆处于定位合格的情况下采集，历史定位巡边参数包括角度数据参数和高度数据参数；
13、所述角度数据参数包括晶圆特征数据和立轴的转动角度；所述高度数据参数包括晶圆特征数据、立轴的转动角度和巡边导向轮的高度数据；
14、基于角度数据参数，训练预测出立轴的转动角度的第一机器学习模型，采集实时的晶圆特征数据，基于训练完成的第一机器学习模型预测出立轴的转动角度；
15、基于高度数据参数，训练预测出巡边导向轮的高度数据的第二机器学习模型，采集实时的晶圆特征数据和第一机器学习模型预测出的立轴的转动角度，基于训练完成的第二机器学习模型预测出巡边导向轮的高度数据；
16、控制器根据预测出的立轴的转动角度和巡边导向轮的高度数据控制低速电机和伺服电机工作。
17、作为上述技术方案的进一步描述：所述晶圆特征数据包括晶圆的半径数据和晶圆的厚度数据，所述晶圆的半径数据和晶圆的厚度数据通过晶圆的设计图纸直接获取。
18、作为上述技术方案的进一步描述：训练预测出立轴的转动角度的第一机器学习模型的方法包括：
19、将采集的角度数据参数转换为对应的一组特征向量；
20、将角度数据参数中，晶圆特征数据作为第一机器学习模型的输入，所述机器学习模型以每组晶圆特征数据对应的立轴的转动角度为输出，以每组晶圆特征数据实际对应的立轴的转动角度作为预测目标，以最小化所述第一机器学习模型的损失函数值作为训练目标，当第一机器学习模型的损失函数值小于等于预设的目标损失值时停止训练。
21、作为上述技术方案的进一步描述：训练预测出巡边导向轮的高度数据的第二机器学习模型的方法包括：
22、将采集的高度数据参数转换为对应的一组特征向量；
23、将高度数据参数中，晶圆特征数据和立轴的转动角度作为第二机器学习模型的输入，所述机器学习模型以每组晶圆特征数据和立轴的转动角度对应的巡边导向轮的高度数据为输出，以每组晶圆特征数据和立轴的转动角度实际对应的巡边导向轮的高度数据作为预测目标，以最小化所述第二机器学习模型的损失函数值作为训练目标，当第二机器学习模型的损失函数值小于等于预设的目标损失值时停止训练。
24、本专利技术一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构及其巡边方法的技术效果和优点：
25、本专利技术，当将晶圆放在基座上的晶圆承载台上，通过驱动组件驱动自动巡边组件转动，使得位于第二连接臂上的巡边导向轮转动到基座上与晶圆的边接触，通过三个巡边导向轮，实现将晶圆巡边的居中定位，使得晶圆位于基座上表面中心处，并且巡边导向轮为可转动结构，使得巡边导向轮与晶圆接触时，可以发生转动，降低接触的摩擦阻力，提高对晶圆的保护效果；
26、进一步的，当驱动组件驱动自动巡边组件转动时，配合联动组件的设置，可以同步本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，包括基座（1）和固定设置在基座（1）上的晶圆承载台（2），其特征在于：还包括自动巡边组件（3）；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述基座（1）下表面中心处一体成型有固定轴（101），所述定位轴（34）的外壁沿其周向等间距设置有若干个条形凸起（35），若干个条形凸起（35）用于对定位轴（34）进行限位。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述联动组件（4）包括圆形座（41），所述圆形座（41）焊接固定在固定轴（101）的下表面，所述圆形座（41）上表面设置有弧形楔形块（43），所述弧形楔形块（43）的圆心与立轴（31）在同一竖直线上。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述圆形座（41）上表面开设有半圆形滑槽（42），所述弧形楔形块（43）下表面固定有滑块（45），所述滑块（45）一侧壁上焊接有弹簧（44），所述半圆形滑槽（42）的圆心与立轴（31）在同一竖直线上，所述圆形座（41）下表面转
5.根据权利要求4所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述驱动组件（6）包括固定在圆形座（41）上的伺服电机（62），所述伺服电机（62）的输出轴上固定有第二驱动齿轮（63），所述固定轴（101）上转动连接有第二联动齿轮（61），所述立轴（31）的底端固接有第三联动齿轮（33），所述第二驱动齿轮（63）与第二联动齿轮（61）啮合连接，所述第二联动齿轮（61）与第三联动齿轮（33）啮合连接。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述圆形座（41）外壁上焊接有连接座（5），所述连接座（5）上开设有安装孔（51），所述连接座（5）下表面安装有控制器（52）。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述晶圆承载台（2）上表面开设有圆形槽（21），所述圆形槽（21）内嵌设安装有气动吸盘（22），所述圆形槽（21）共开设有若干个，且若干个圆形槽（21）呈环形分布，相邻两圆形槽（21）之间的间距相等。
8.一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边方法，基于如权利要求6-7任一项所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构实现，其特征在于，包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边方法，其特征在于，所述晶圆特征数据包括晶圆的半径数据和晶圆的厚度数据。
10.根据权利要求8所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边方法，其特征在于，训练预测出立轴（31）的转动角度的第一机器学习模型的方法包括：
11.根据权利要求8所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边方法，其特征在于，训练预测出巡边导向轮（37）的高度数据的第二机器学习模型的方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，包括基座（1）和固定设置在基座（1）上的晶圆承载台（2），其特征在于：还包括自动巡边组件（3）；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述基座（1）下表面中心处一体成型有固定轴（101），所述定位轴（34）的外壁沿其周向等间距设置有若干个条形凸起（35），若干个条形凸起（35）用于对定位轴（34）进行限位。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述联动组件（4）包括圆形座（41），所述圆形座（41）焊接固定在固定轴（101）的下表面，所述圆形座（41）上表面设置有弧形楔形块（43），所述弧形楔形块（43）的圆心与立轴（31）在同一竖直线上。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述圆形座（41）上表面开设有半圆形滑槽（42），所述弧形楔形块（43）下表面固定有滑块（45），所述滑块（45）一侧壁上焊接有弹簧（44），所述半圆形滑槽（42）的圆心与立轴（31）在同一竖直线上，所述圆形座（41）下表面转动连接有转轴（46），所述转轴（46）外壁上焊接有驱动杆（410），所述驱动杆（410）与滑块（45）远离弹簧（44）的一端抵接，所述转轴（46）的底端焊接有第一联动齿轮（47），所述圆形座（41）上安装有低速电机（48），所述低速电机（48）的输出轴上固接有第一驱动齿轮（49），所述第一驱动齿轮（49）和第一联动齿轮（47）啮合连接。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构，其特征在于，所述驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员：林坚，王彭，吴国明，王栋梁，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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