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本发明涉及晶圆制造技术领域，特别涉及一种晶圆传送设备的晶圆自动巡边机构及其巡边方法，包括基座和固定设置在基座上的晶圆承载台，还包括自动巡边组件；自动巡边组件包括转动连接在基座下表面的立轴，所述立轴上固接第一连接臂，所述第一连接臂远离立轴的一...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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