【技术实现步骤摘要】
本申请涉及太阳能电池加工，尤其涉及一种扩散炉、扩散炉系统及扩散方法。
技术介绍
1、在太阳能电池的生产过程中，掺杂扩散是制备太阳能电池pn结的核心工艺，pn结的质量对于太阳能电池的性能也具有决定性的影响。其中，通常需要在扩散炉中通入携带有掺杂介质(磷、硼)的工艺气体，使元素磷、硼掺杂扩散到硅片中，以形成太阳能电池中的pn结。
2、然而，现有的扩散炉在通入工艺气体时，工艺气体不能与硅片充分接触，造成工艺气体和掺杂介质用量过大，造成成本浪费。
技术实现思路
1、本申请提供了一种扩散炉、扩散炉系统及扩散方法，以使工艺气体与硅片充分接触反应。
2、第一方面，本申请提供了一种扩散炉，包括：
3、炉管本体；
4、石英舟，设置于所述炉管本体内，所述石英舟配置有沿第一方向延伸的放置位；
5、至少一进气管组，包括位于所述炉管本体内的进气口段，所述进气口段相对于所述第一方向倾斜设置。
6、基于以上技术方案，本申请提供的扩散炉中，进气口段相...
【技术保护点】
1.一种扩散炉，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述进气口段与所述第一方向之间配置有夹角α，其中，0°＜α≤45°。
3.根据权利要求1或2所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉包括两所述进气管组；
4.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述石英舟配置有多个放置位，所述多个放置位沿第二方向依次间隔设置；
5.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述进气管组还包括与所述进气口段连通的第一转接段，所述第一转接段位于所述炉管本体外侧；
6.一种扩散炉系统，其特征在于，包括如权...
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述进气口段与所述第一方向之间配置有夹角α，其中，0°＜α≤45°。
3.根据权利要求1或2所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉包括两所述进气管组；
4.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述石英舟配置有多个放置位，所述多个放置位沿第二方向依次间隔设置；
5.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述进气管组还包括与所述进气口段连通的第一转接段，所述第一转接段位于所述炉管本体外侧；
6.一种扩散炉系统，其特征在于，包括如权利要求1至5任一项所述的扩散炉。
【专利技术属性】
技术研发人员：邹凯，田栋东，李长营，莫磊，张国宏，刘浩浩，张德林，陈亮亮，
申请(专利权)人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司，
类型：发明
国别省市：
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